半導體光刻中的紫外線控制:ORC照度計保障芯片良品率
半導體光刻中的紫外線控制:ORC照度計保障芯片良品率
半導體制造中的光刻工藝對紫外光強控制精度要求高,紫外線強度的微小波動都可能導致芯片圖案尺寸偏移,直接影響產品良品率。
日本ORC照度計在半導體和液晶面板制造領域廣泛應用,用于控制曝光過程中的紫外線強度,保證曝光過程的穩定性和一致性。
ORC提供UV-SN25/35/42和UV-SD25/35/42系列受光器,分別滿足電路基板制造和半導體、液晶面板制造的波長選擇和信號輸出需求。
這些探頭根據UV光的波段特點進行選型,UV-25測量主波長250-260nm,UV-35測量340-370nm,UV-42測量380-440nm。
ORC照度計±1.5%以內的對準精度和重復精度,滿足了半導體行業對工藝一致性的嚴苛要求。
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