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干式真空泵的極限真空度能達到多少
干式真空泵極限真空（Pa，絕對壓強，荏原全系半導體機型實測標準）
單位換算：
一、按泵結構分類極限真空（單機從大氣壓直抽）
1. 多級爪式干泵（荏原 EV?SA/EV?A/EV?S，半導體 Load-Lock、小型腔體）
標準風冷小型：0.3～1.0 Pa（EV?SA20/30/50、EV?A10）
精密多級 EV?S 系列：0.4～0.8 Pa（EV?S20/S40）
實驗室、電鍍機、SEM 設備標配。
2. 羅茨干式（EV?M 系列，刻蝕、CVD 主力）
EV?M102/202/302：1～5 Pa，大抽速、水冷，側重工藝動態抽氣，不追求超高極限真空。
3. 變螺距螺桿干泵（EST、ESA 防腐系列，MOCVD / 強腐蝕制程）
EST 全系列（200/300/500WN 防腐款）：0.3～0.5 Pa，荏原最高真空量產干泵；ESA 大流量螺桿：0.5～3 Pa，大腔體量產線使用。
4. 通用工業國產干泵（非半導體）
普通單級螺桿：3～15 Pa；簡易單級爪泵：10～50 Pa。
二、半導體系統搭配真空（干泵 + 分子泵機組）
干泵單獨使用：工藝腔體穩定工作壓力 （刻蝕、PECVD 粗真空）；
干泵做前級 + 分子泵：腔體可達 （PVD 濺射、ALD、離子注入高真空），干泵只負責預抽、分子泵實現超高真空。
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