沃拉斯頓偏振器是由兩個雙折射材料棱鏡用光學特定膠水粘結在一起制成的。尋常光和非尋常光在輸入光束軸上的偏離幾乎是對稱的，因此沃拉斯頓偏振分束器的偏離大約是羅雄的兩倍。MgF? Wollaston 氟化鎂沃拉斯頓偏振棱鏡。

一、基礎結構與設計原理

1. 晶體屬性

MgF?為正單軸晶體，，透光區間110~7000nm，深紫外至中紅外全覆蓋。

2. 結構構成

兩塊同規格直角 MgF?棱鏡光軸相互垂直，斜面貼合光膠組合；自然光垂直入射端面。

3. 分光原理

· 入射光進入一棱鏡，分解為 o 光、e 光同路傳播

· 界面處偏振身份互換，折射率發生突變

· 兩束正交偏振光同時向兩側偏折，出射后全部分開

· 區別洛匈棱鏡：沃拉斯頓兩束光均偏離入射軸線

0. 核心分離角公式

為棱鏡頂角，頂角越大、波長越短，分光夾角越大。

二、關鍵設計參數

1. 工作波段

核心適配：193/248/266/355nm 深紫外，兼顧可見、近紅外、中紅外。

2. 雙折射與分光角

532nm 處，常規分光夾角1°~5°，按需定制頂角調整角度。

3. 光學指標

· 消光比：標準，精密級可達

· 損傷閾值：1064nm 下約，深紫外耐受度優異

· 面形精度：常規，精密檢測用

0. 拼接工藝

· 光膠結構：無有機膠層，深紫外、高功率場景專用，無吸收老化

· 膠合結構：低成本，僅適用于 400nm 以上低功率光路

0. 通光孔徑

常用 Φ6/8/10/15/20mm，設計預留 1.2~1.5 倍光束余量規避邊緣損耗。

三、性能對比

四、標準型號與參數（福州呈欣光電可量產提供）

呈欣光電提供的型號

WSP50系列：φ6 ~50mm，130–4000 nm，2.7°@532 nm，消光比 < 5×10??。

五、主流應用場景

1. 半導體精密檢測

193/266nm 光刻光路、晶圓缺陷掃描、薄膜橢偏測厚，正交偏振差分成像，識別納米級細微瑕疵。

2. 深紫外激光系統

紫外打標、刻蝕、精密切割設備，偏振分光合束，調控激光輸出偏振態。

3. 干涉測量儀器

激光干涉儀、位移傳感、光譜分析，拆分正交偏振光，實現相位與光強檢測。

4. 光學通信與傳感

光纖偏振解調、紅外傳感光路，完成偏振分束，提升信號分辨能力。

5. 科研偏振實驗

量子光學、偏振光譜、偏振成像，作為標準偏振分光核心元件。

六、選型設計要點

1. 短波長優先選光膠結構，杜絕膠層紫外吸收損壞元件

2. 根據光路間距確定分光夾角，頂角匹配實際安裝空間

3. 高功率工況優先選用高損傷閾值基材與精密面形