一、安全總則（必須遵守）

• 高壓部件斷電后殘余電荷需放電 3–5 分鐘再開蓋；全程戴絕緣手套 + 防靜電手環。

• X 光管長期停用（>1 個月）必須做Aging（老化訓練），否則易高壓擊穿。

• 嚴禁超參數運行：最大50kV/1mA，鈹窗禁硬物觸碰、禁液體直接接觸。

• 

二、環境與電源（基礎中的基礎）

1. 溫濕度

• 溫度：18–28℃，波動≤±2℃；避免陽光直射與出風口直吹。

• 濕度：40%–70% RH（無凝露）；高濕季節開空調 / 除濕，內部放干燥劑島津製作所。

2. 供電與接地

• 電壓：220V±5%（198–230V），配1kVA 穩壓電源，獨立回路。

• 接地：專用地線，接地電阻 **≤4Ω**，定期檢查無銹蝕、松動。

三、高壓發生器保養

1. 日常（每日）

• 開關機順序：

  開機：穩壓器→儀器主電源→電腦→軟件→真空就緒后再開高壓。

  關機：先關 X 光管高壓→軟件→冷卻 10–20 分鐘→主電源→穩壓器。

• 外觀：無水無塵，用無塵布 + 無水乙醇輕拭外殼與高壓接頭，防積塵打火。

• 運行：無滋滋放電聲、異味、焦痕；異常立即停機。

2. 每周

• 高壓電纜：檢查絕緣層無裂紋、鼓包、老化；接頭無松動、無氧化發黑。

• 散熱風扇：清理濾網灰塵，風道暢通，轉速正常無異響。

3. 每月

• 高壓參數：空載 / 負載下測kV/mA，波動≤±2%；偏差 >±5% 需校準。

• 絕緣檢查：斷電放電后，測高壓端對地絕緣 **≥10MΩ（500V 搖表）**。

• 高壓插座：清潔后涂 ** 硅脂（半年 1 次）** 或凡士林，防固化放電。

4. 季度 / 年度

• 內部除塵：斷電放電后，用軟毛刷 + 吸塵器清板卡、變壓器、電容積塵。

• 電容 / 繼電器：檢查鼓包、漏液、觸點燒蝕；年度由島津工程師檢測耐壓與漏電流。

四、X 射線管（X 光管）保養

1. 日常（每日）

• 真空度：開機確認 **≤10?3 Pa**；下降則查艙門膠條，用無水乙醇擦拭密封面。

• 鈹窗保護：樣品用樣品杯，禁粉末 / 液體直接接觸；污漬用無水乙醇輕拭，單向擦拭。

• 冷卻系統（風冷）：風扇濾網清潔，進出風無遮擋，陽極溫度 **≤60℃**。

2. 每周

• 真空系統：檢查真空泵油位 / 油質，無乳化、發黑；排氣無油霧。

• 光管狀態：觀察窗無藍色輝光（放電）；靶面無熔化、濺射凹坑。

3. 每月

• Aging（必做）：長期停機后，在軟件執行X 光管老化訓練：

  逐步升高壓（如 5kV→10kV→…→50kV）、降電流，緩慢激活絕緣，防止擊穿。

• 強度穩定：用 ** 標準樣品（如 Cu/Zn）** 測強度，RSD≤1%；漂移大則查光管 / 高壓。

4. 季度 / 年度

• 靶面檢查：5–10 倍放大鏡觀察，凹坑 > 1mm 記錄，嚴重需換管。

• 密封性能：年度由工程師做氦質譜檢漏，漏率≤10?? Pa?m3/s。

五、常見故障與預防

• 高壓打火：積塵、受潮、絕緣老化 → 定期清潔、控濕、涂硅脂。

• 光管老化快：頻繁啟停、超壓超流、真空差 → 平穩開關機、不超載、保真空。

• 強度漂移：溫度波動、真空泄漏、靶面濺射 → 控溫、檢漏、定期 Aging。

六、保養周期表（速查）

七、關鍵提醒

• Aging 是光管長壽核心：停機 > 1 個月必須做，否則易突發擊穿。

• 冷卻優先：關機必須冷卻 10–20 分鐘，防熱沖擊損靶。

• 高壓慢升：開機高壓逐步提升，避免瞬間大電流沖擊。