日本大塚電子OTSUKA SM-100 系列 便攜高精度膜厚計 簡介
SM-100 系列是日本大塚電子推出的手持款光譜膜厚儀,憑借無損檢測、精度高、上手簡單的特點,深受實驗室和生產現場認可,專門用來檢測各類薄膜、涂層厚度,光學、半導體、光伏行業日常質檢、研發巡檢都在用。
一、技術規格
測量原理:白光反射分光干涉法,非接觸式檢測區分型號:SM-100S 標準版、SM-100P 專業版測量范圍:SM-100S 單層 1~50μm;SM-100P 單層 0.1~100μm,最多可測 3 層薄膜重復精度:可達 0.01μm,測量數據穩定光斑尺寸:直徑≤1mm,狹小區域也能精準測量單次測量時長:1 秒快速出結果測頭設計:支持 270° 旋轉,多角度測量更靈活整機重量:約 1.1kg,手持操作方便續航能力:滿電可連續使用 4 小時以上數據功能:自帶存儲,USB 接口可導出數據存檔內置材料折射率數據庫,常規材料直接選用
二、工作原理
儀器發出白光照射在樣品表面,基底與薄膜會分別反射光線,設備通過分析光線干涉后的光譜信號,自動計算出薄膜的實際厚度。整個過程不用接觸工件,不會刮傷表面、造成污染,高價值樣品也能放心檢測。
三、現場使用優勢
1、無損檢測,適配較高級工件
全程非接觸測量,不像接觸式測厚工具容易劃傷鍍層、薄膜,晶圓、光學鏡片、柔性材料這類嬌貴工件,檢測起來不用擔心損傷。
2、精度出色,數據靠譜
儀器本身重復測量誤差很小,不管是車間批量抽檢,還是實驗室做研發實驗,數值都穩定可靠,日常品質管控、數據對標都能滿足要求。
3、一機多用,基材不挑
玻璃、金屬、塑料、半導體基材都能正常測量,不用頻繁更換探頭、反復校準,切換不同樣品檢測也很省事。專業款還能解析多層涂層,應對復雜鍍膜產品毫無壓力。
4、便攜靈活,場景不受限
機身輕巧,走到哪測到哪,產線工位、質檢室、研發實驗室都能擺放使用。可旋轉測頭設計,面對異形工件、邊角位置也能輕松對準測量點。
5、操作簡單,效率高
開機就能使用,不用復雜調試,新手簡單熟悉后即可上手。一秒出讀數,大批量檢測也能保證效率,檢測數據還能導出電腦整理報表,臺賬記錄很方便。
四、適用場景
半導體行業:晶圓氧化膜、光刻膠、絕緣層厚度檢測
光學領域:鏡片增透膜、紅外膜、ITO 導電膜等鍍膜測量
顯示行業:屏幕偏光片、阻隔膜、基板涂層質檢
光伏產業:太陽能電池減反膜、鈍化膜日常管控
精密制造:各類樹脂薄膜、功能性涂層厚度抽檢
五、日常維護
平時注意保護測量鏡頭,有灰塵污漬用無塵布搭配無水乙醇輕輕擦拭即可。避免硬物磕碰鏡頭與機身,長期閑置時放在干燥避光環境,定期補充電量。建議每年使用標準試片做一次精度校驗,長久保障測量準確度。
大塚電子 SM-100 系列是實用性很強的便攜膜厚檢測儀,兼顧高精度、無損測量與移動作業的需求。標準版適合常規單層薄膜批量檢測,專業款可應對多層復雜涂層,功能劃分清晰。設備耐用、操作簡單,是薄膜涂層厚度檢測環節里,口碑和實用性都在線的主流機型。
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