超純水系統的工藝流程介紹

來源：成都浩純儀器設備有限責任公司 2026年06月11日 13:42

　　超純水系統是一套多級組合式精密水處理成套設備，通過過濾、膜分離、電化學、離子交換、紫外氧化等工藝，去除原水中懸浮物、膠體、無機鹽離子、有機物、微生物、溶解氣體，產出25℃電阻率≥18.2 MΩ?cm的純水，是半導體、實驗室、制藥、光伏、鋰電的核心配套設備。

　　超純水系統通常采用多級純化工藝，構建水質保障體系。其核心工藝流程主要包括以下幾個階段：

　　預處理單元：通過多介質過濾、活性炭吸附、超濾(UF)或軟化阻垢等物理與化學手段，去除原水中的懸浮物、余氯、有機物及膠體，防止后續核心膜元件受到污染或氧化破壞。

　　核心脫鹽單元：主要采用反滲透(RO)技術。利用高壓泵提供動力，使水分子逆著自然滲透壓穿過半透膜，有效去除水中98%以上的溶解鹽類、微生物及大分子有機物。

　　深度除鹽單元：采用EDI(電去離子)技術。該技術結合了電滲析與離子交換，在直流電場作用下連續遷移并排出水中的離子，同時利用電解水產生的H?和OH?實現樹脂的連續再生。此過程無需酸堿化學再生，可連續制取高純水。

　　終端拋光與精制：經過EDI處理后的水進入氮封水箱，隨后通過拋光混床去除微量小分子有機物與離子，并輔以185nm/254nm UV紫外燈降解有機物(TOC)和殺滅微生物，然后經過0.22μm或0.1μm終端超濾，確保產水水質達到較高標準。

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