浙江大學杭州國際科創中心 ALD原子層沉積 項目案例分享（帶現場實拍）

一、項目背景

• 核心用氣需求：氮氣作為工藝吹掃氣、前驅體載氣，同時為螺桿真空泵提供氣封保護氣，要求70 L/min 流量、99.5% 純度。

• 傳統痛點：高壓鋼瓶供氣存在斷供風險、純度波動、頻繁換瓶、安全隱患大，無法匹配長時間連續實驗需求。

二、現場配置實拍與方案說明

1. 當前供氣系統（雙機組合方案）

• 總產氣量：75 L/min（滿足 70 L/min 實際需求，富余充足）

• 氮氣純度：穩定 99.5%

• 系統連接：發生器輸出氮氣，一路進入 ALD 反應腔作為吹掃 / 載氣，另一路接入螺桿真空泵作為氣封保護氣，全程無間斷供氣。

• 優勢：雙機互為備份，運行更穩定，避免單臺故障導致實驗中斷。

2. 配套真空與溫控系統

• 氮氣發生器配合螺桿真空泵，構建穩定的真空環境，同時保護泵體不受腐蝕性前驅體損傷。

• 冷水機為 ALD 設備與真空泵提供冷卻，保障長時間連續運行的溫度穩定性。

3. 未來升級方案

• 額定產氣量：80 L/min，單機即可滿足全部用氣需求

• 優勢：簡化管路布局、減少設備占地，運維更便捷，適配實驗室后續擴容需求。

三、核心價值與項目成果

1. 供氣穩定性保障

   雙機并聯系統輸出的氮氣流量、純度全程穩定，有效避免了鋼瓶供氣的波動問題，為 ALD 薄膜沉積提供了可靠氣源。

2. 科研效率大幅提升

   無需人工更換鋼瓶，科研人員可專注于實驗設計與數據分析，7×24 小時不間斷供氣，匹配長時間循環實驗需求。

3. 安全與成本優化

   消除高壓鋼瓶安全隱患，同時免去鋼瓶采購、運輸、租賃費用，長期運營成本顯著降低。

四、項目總結