半導體應變片工作原理
半導體應變片工作原理:核心是半導體壓阻效應
1. 基礎概念:壓阻效應
2. 完整物理過程
- 受力形變應變片粘貼在被測構件上,構件受拉力 / 壓力變形,帶動硅敏感條同步拉伸或壓縮。
拉伸:晶格被拉長,載流子遷移率下降 → 電阻率上升 → 電阻變大
壓縮:晶格被擠壓,載流子遷移率提升 → 電阻率下降 → 電阻變小
- 摻雜類型區分(P 型 / N 型硅特性相反)
P 型硅(空穴導電):受拉電阻增大,受壓電阻減小,靈敏系數更大,工業zui 常用;
N 型硅(電子導電):受力變化趨勢和 P 型相反,靈敏度偏低,少單獨使用。
電阻變化公式
電阻通用公式:
金屬應變片:ρ 基本不變,R 變化只來自 L、S 幾何尺寸;
半導體應變片:ρ 變化幅度遠大于 L、S 變化,幾何影響可忽略,電阻變化主要由 ρ 決定。
3. 信號采集邏輯
無外力時,電橋平衡,輸出電壓為 0;
產生應變后,應變片電阻改變,電橋失衡,輸出微弱電壓信號;
后端電路放大、補償溫度漂移,換算得到應變、壓力、力、加速度等物理量。
4. 固有缺陷來源(原理自帶)
溫度漂移:半導體電阻率對溫度極敏感,溫度變化會造成電阻漂移,必須搭配補償電阻;
非線性:應變增大后,晶格畸變加劇,電阻變化和應變不再成嚴格直線關系,大應變測量誤差大;
各向異性:硅晶體不同晶向壓阻靈敏度差異很大,生產時必須切割zui 優晶向提升性能。
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