一、產品概述

在平板顯示（FPD）、半導體制造、電子器件生產以及各類真空工藝應用中，獲得潔凈、穩定且無油的真空環境是保證產品質量與良率的關鍵前提。日本ULVAC（愛發科）公司推出的CR系列多級羅茨型干泵，正是為滿足這一需求而設計的先進真空獲取設備。其中，CR60B作為該系列的中堅型號，憑借其風冷設計、無油運行和的穩定性，成為工業與科研領域低中真空應用的理想選擇。

CR60B隸屬于愛發科CR系列Ver.B版本，是一款獲得國際標準（CE、cTUVus）認證的空冷式羅茨型干泵。該泵采用多級羅茨轉子結構，泵頭內部不使用真空油，轉子和氣缸之間以非接觸方式運行，從而實現長時間穩定運轉和超長使用壽命。無論是半導體前道工藝、真空鍍膜，還是實驗室真空干燥，CR60B都能提供可靠、清潔的真空動力。

二、核心技術原理

多級羅茨結構

CR60B的核心技術在于其多級羅茨（Multi-Stage Roots） 設計。泵體內部裝有成對的三葉羅茨轉子，它們通過精密齒輪以相同轉速、相反方向同步旋轉。轉子之間、轉子與泵殼之間始終保持微小間隙而非直接接觸，依靠這一間隙實現氣體的捕獲、輸送與壓縮。

與傳統單級羅茨泵不同，CR60B采用多級壓縮結構——氣體依次通過多個壓縮級，逐級增壓至大氣壓后直接排入大氣。這一設計使得該泵能夠從大氣壓狀態下直接啟動并工作，無需依賴前級泵，大幅簡化了真空系統的配置。

無油干式運行

CR60B的排氣室內不使用真空油或任何密封液體。齒輪和軸承雖需潤滑油潤滑，但通過精密的密封結構設計，有效防止了潤滑油向泵殼內部的滲漏。這一設計帶來了兩大核心優勢：一是排氣過程無油霧污染，確保被抽真空環境的高度潔凈；二是避免了油品老化、乳化等問題對泵性能的影響，大幅延長了維護周期。

三、核心技術參數

CR60B系列提供兩種配置型號——CR60B-S 與 CR60B-T。兩者的核心性能參數一致，區別主要體現在電源配置和部分接口規格上。主要技術規格如下：

（極限壓力為氣鎮閥關閉時測得的值）

四、核心產品優勢

1. 全風冷設計，無需輔助設施

CR60B采用空氣冷卻方式，無需冷卻水和氮氣。這一設計顯著降低了設備對廠房基礎設施的依賴——無需鋪設冷卻水管路，無需供應高純氮氣，大幅簡化了安裝部署流程，同時降低了運行成本。對于空間有限或輔助設施的實驗室和生產現場，這一優勢尤為突出。

2. 無油潔凈排氣

由于泵頭內部不使用真空油，CR60B實現了真正的干式無油排氣。排氣過程中不會產生油霧，不會對被抽真空腔體造成碳氫化合物污染，這對于半導體、FPD、光學鍍膜等對潔凈度要求高的工藝領域至關重要。

3. 長壽命與高可靠性

轉子和氣缸采用非接觸式運行設計，無機械磨損部件。配合精密的齒輪傳動和高效的散熱設計，CR60B可實現長時間連續穩定運轉，使用壽命遠超傳統油封式真空泵。維護工作主要集中在齒輪箱潤滑油更換和進氣過濾器清理，大幅降低了用戶的維護負擔和總擁有成本（TCO）。

4. DC密封電機，節能輕量

CR60B搭載了DC密封電機，具備節能、高氣密性和輕量化的特點。電機額定功率僅為0.72 kW，在同類排氣速度的干泵中能耗處于較低水平，有助于降低長期運行的電費支出。

5. 氣鎮機構，可處理水蒸氣

CR60B可選配氣鎮（Gas Ballast）機構。通過向泵的壓縮腔引入少量干燥氣體，可有效防止水蒸氣在泵內冷凝，從而實現對含水蒸氣工藝氣體的穩定抽除。最大耐水蒸氣處理量可達300 g/h，使其在真空干燥等含水蒸氣的應用中表現出色。

6. 低噪音運行

CR60B可配置專用消音器（RS-01+KitA），有效降低排氣噪音，改善工作環境。對于實驗室或對噪音敏感的生產環境，這一配置尤為重要。

7. 國際安全認證

CR60B已獲得CE和cTUVus國際安全標準認證，可在全球范圍內合規使用，滿足不同國家和地區的設備安全要求。

五、應用領域

CR60B憑借其潔凈無油、風冷高效、穩定可靠的特性，在以下領域得到了廣泛應用：

• 半導體與FPD制造：用于濺射、蒸鍍、刻蝕等真空工藝的粗抽與維持排氣

• 真空鍍膜：光學鍍膜、裝飾鍍膜等PVD工藝的真空環境維持

• 真空干燥設備：食品、藥品、電子元件的真空干燥，需配合氣鎮機構使用

• 科研實驗室：各類真空實驗系統中的潔凈真空獲取

• 惰性氣體處理：空氣、氮氣、氬氣等潔凈氣體的真空排氣

六、選型指南

CR60B提供兩種配置選擇：

用戶可根據實際應用場景的電源條件（單相/三相）、對節能特性的要求以及對水蒸氣處理的需求，選擇適合的型號和選配件配置。

七、總結

愛發科CR60B多級羅茨型干泵以55 m3/h的最大排氣速度、≤3.0 Pa的極限壓力、0.72 kW的低功耗和48 kg的輕量化設計，在緊湊的機身內實現了出色的真空獲取性能。其全風冷無油設計、非接觸式轉子結構、可選配的氣鎮機構以及國際安全認證，使其成為半導體、FPD、真空鍍膜和真空干燥等領域中潔凈真空應用的可靠選擇。無論是在追求高良率的精密制造產線，還是在要求高潔凈度的研發實驗室，CR60B都能以低運行成本、長維護周期和穩定的排氣性能，為用戶提供持續可靠的真空動力保障。