一、產品概述

在平板顯示（FPD）、半導體制造、真空鍍膜以及各類大型真空工藝設備中，快速獲得潔凈、穩定的低中真空環境是保障生產節拍與產品質量的核心環節。日本ULVAC（愛發科）公司推出的LR系列多級羅茨型干泵，正是為滿足大流量、高負荷工業真空需求而設計的先進干式真空泵。其中，LR1800作為該系列的大流量機型，憑借其的抽速性能、低溫均熱化技術和的抗腐蝕能力，成為大型PVD（物理氣相沉積）設備、裝載/卸載室（Load Lock Chamber）及各類工業真空系統的理想配套動力源。

LR1800是多級羅茨型干泵，采用多級羅茨轉子串聯結構，實現全無油干式壓縮。泵體內部通過獨特的低溫區域均熱化技術，使溫度分布均勻，有效防止工藝氣體凝結。設備可在大氣壓至低真空的寬廣范圍內穩定運行，尤其適用于需要反復在大氣與真空之間切換、對排氣速度要求高的裝載/卸載室場景。

二、核心技術原理

多級羅茨干式壓縮結構

LR1800的核心技術在于其多級羅茨（Multi-Stage Roots） 壓縮設計。泵體內部裝有成對的三葉羅茨轉子，通過精密齒輪以相同轉速、相反方向同步旋轉。轉子之間、轉子與泵殼之間始終保持微小間隙而非直接接觸，依靠這一間隙實現氣體的無接觸捕獲、逐級輸送與壓縮。

氣體依次通過多個壓縮級，逐級增壓至大氣壓后直接排入大氣。這一設計使LR1800能夠從大氣壓狀態下直接啟動并工作，無需依賴前級泵，大幅簡化了真空系統的配置。

無油干式運行與密封電機

LR1800的排氣室內不使用真空油或任何密封液體。齒輪和軸承雖需潤滑油潤滑，但通過精密的密封結構——屏蔽電動機（Canned Motor） 設計，有效防止了潤滑油向泵殼內部的滲漏。這一設計帶來了兩大核心優勢：一是排氣過程無油霧污染，確保被抽真空環境的高度潔凈；二是避免了油品老化、乳化等問題對泵性能的影響，大幅延長了維護周期。

低溫區域均熱化技術

LR系列最獨特的技術特征在于其低溫區域均熱化設計。與HR/UR系列專注于高溫均熱（適用于CVD、刻蝕等硬工藝）不同，LR系列通過獨特的鋁合金導熱設計，使泵體低溫區域（通常控制在100℃以下）保持極為均勻的溫度分布。這一設計有效防止了水蒸氣和工藝氣體在泵內低溫區域的凝結，同時確保泵體各部件熱膨脹一致，保障了轉子間隙的長期穩定性。

三、核心技術參數

LR1800是LR系列中的大流量型號，其主要技術規格如下：

LR1800通常以干泵+機械增壓泵（MBP）的機組形式交付，其中干泵本體為LR180，機械增壓泵為PRC-018A。

四、核心產品優勢

1. 超大抽速，滿足高吞吐量需求

LR1800在50Hz下最大排氣速度達1,701 m3/h（28,350 L/min），60Hz下可達1,784 m3/h（29,700 L/min）。這一驚人的抽速能力使其能夠在極短時間內將大型真空腔體從大氣壓抽至低真空狀態，顯著縮短裝載/卸載室的循環時間，直接提升生產線的整體吞吐量。

2. 低溫均熱化，適配多種工藝

LR系列有的低溫區域均熱化技術，使泵體溫度分布極為均勻。這一設計使其特別適用于PVD工藝（濺射、蒸鍍等）以及裝載/卸載室的快速排氣。同時，低溫運行也降低了對泵體材料的熱應力，延長了設備壽命。

3. 優異的耐腐蝕性

LR1800的主要零部件均采用表面硬度高、耐腐蝕性優異的特殊表面處理。這一處理有效降低了腐蝕性氣體排氣時對泵內部件的腐蝕，使泵在面對含腐蝕性成分的工藝氣體時仍能保持長期穩定運行。

4. 瞬停對策（1000ms以內）

LR1800具備的瞬停（瞬間停電）對策功能，可承受長達1000ms以內的電源瞬斷。在電力不穩定的工業環境中，這一設計有效避免了因短暫電壓波動導致的設備停機和生產中斷，大幅提升了生產線的連續運行可靠性。

5. 氦氣密封與高安全性

通過搭載屏蔽電動機（Canned Motor） ，LR1800形成了密閉的結構。這一設計不僅確保了優異的氦氣密封性能，更從根本上杜絕了氣體泄漏的風險，保障了操作人員的安全和工藝環境的純凈。

6. 智能通信與集中監控

LR1800配備通信功能，可實時讀取與泵運轉狀態相關的數據、警告及報警履歷。通過使用專用軟件進行計算機通信，用戶可實現多臺泵的集中監控和管理，便于設備維護與故障預警。

7. ECO-SHOCK節能選項

LR系列在與ULVAC有的ECO-SHOCK節能附件組合使用時，最多可節省約80%的電力消耗。這一選項對于長期連續運行的大功率真空泵而言，可顯著降低運營成本，具有可觀的經濟效益。

8. CE標準認證（可選）

LR1800可選配符合CE標準的規格，滿足歐洲及國際市場的設備安全要求。

五、應用領域

LR1800憑借其超大抽速、低溫均熱化、優異的耐腐蝕性和智能監控能力，在以下領域得到了廣泛應用：

• 成膜設備（PVD工藝） ：濺射裝置、蒸鍍裝置等真空鍍膜設備的真空系統配套

• 裝載/卸載室（Load Lock Chamber） ：大幅縮短備料下料室的排氣時間，提升生產線吞吐量

• 輔助排氣泵：作為渦輪分子泵、機械增壓泵的前級或輔助排氣泵使用

• 惰性氣體排氣：用于抽除空氣、氮氣、氬氣等惰性氣體

• 熱處理工藝：真空熱處理爐的排氣系統

• 半導體與FPD制造：各類需要快速、潔凈低中真空的工藝環節

六、系列對比與選型建議

LR系列提供多種規格選擇，覆蓋從小流量到大流量的廣泛應用需求：

LR1800在LR系列中屬于大流量機型，其極限壓力0.67 Pa也優于LR60~LR421的5.0 Pa。用戶應根據實際真空腔體容積、目標抽速要求、工藝氣體特性（是否含腐蝕性成分）以及對節能（ECO-SHOCK）的需求，選擇最合適的型號配置。

七、總結

愛發科LR1800多級羅茨型干泵以1,701 m3/h（50Hz）的超大排氣速度、0.67 Pa的極限壓力、545 kg的穩健機身和全面的工業級設計，在大型真空系統中展現了的潔凈真空獲取能力。其多級羅茨無油干式壓縮結構、獨特的低溫區域均熱化技術、1000ms瞬停對策、優異的耐腐蝕性以及智能通信功能，使其成為PVD工藝、裝載/卸載室快速排氣以及各類大型工業真空應用的理想選擇。無論是在追求高產能的平板顯示產線，還是在要求高可靠性的半導體制造環節，LR1800都能以穩定的性能、低維護成本和智能化的運行管理，為用戶提供持續可靠的真空動力保障。