在半導體、平板顯示及各類真空鍍膜產業中，生產節拍與設備利用率直接決定了產能與效益。負載鎖定室（Load Lock）的排氣時間往往是制約整線效率的關鍵瓶頸。日本ULVAC（愛發科）推出的LR90多級羅茨型干泵，正是為解決這一痛點而設計——通過創新的低溫均熱化技術，在確保清潔無油真空的同時，顯著縮短了負載鎖定室與PVD工藝的排氣時間，為制造提供了高效、可靠的真空獲得方案。

一、產品定位：LR系列的中堅力量

LR90隸屬于ULVAC的LR系列多級羅茨式干式真空泵。該系列專為負載鎖定室（Load Lock）排氣和物理氣相沉積（PVD）工藝而設計。

與同系列其他型號相比，LR90在抽速與體積之間取得了良好平衡，是該系列中的主力型號：

LR90的112 m3/h (50Hz) / 126 m3/h (60Hz) 的最大抽速，使其足以應對中等規模的負載鎖定室和PVD腔體的快速排氣需求，是兼顧性能與成本的優選方案。

二、核心技術特點

LR90的技術優勢源于其對特定工藝需求的深度優化與多項創新設計：

1. 低溫區域均熱化技術

LR系列的核心技術在于泵體低溫區域的均熱化。通過對泵體低溫區進行均衡加熱（典型＜100℃），有效防止了工藝氣體在泵內冷壁上的凝結。這一設計不僅保證了泵在PVD工藝中的穩定運行，更使其尤其適用于需要縮短排氣時間以提高產能的負載鎖定室排氣場景。

值得注意的是：與LR系列的低溫均熱化不同，ULVAC的HR/UR系列則采用高溫均熱技術，利用壓縮熱將泵體整體保持在高溫狀態，專為CVD和蝕刻等會產生升華性副產物的硬工藝而設計。

2. 出色的氦氣密封與安全性

LR90搭載了屏蔽電動機（Canned Motor） ，形成了密閉的結構。這一設計不僅實現了優異的氦氣密封性能，杜絕了工藝氣體的泄漏，更從根本上提高了設備運行的安全性。

3. 瞬停對策與高可靠性

針對工廠電網可能出現的瞬間電壓波動，LR90采取了1000毫秒以內的瞬停對策。這一設計確保了在短暫停電后泵能夠安全、自動地恢復運行，最大限度地減少了意外停機對生產造成的影響。

4. 出色的耐腐蝕性

為應對PVD工藝中可能存在的腐蝕性氣體，LR90的主要零部件均經過了表面硬度高、耐腐蝕性強的特殊表面處理。這有效降低了腐蝕性氣體對泵內部的侵蝕，顯著延長了泵在嚴苛工藝條件下的使用壽命。

5. 智能通信功能

LR90配備了的通信功能，可實時讀取泵的運轉狀態數據、警告及報警履歷。通過使用專用軟件進行計算機通信，可實現集中監控，便于設備維護與故障預警。

三、詳細技術規格

四、典型應用領域

LR90憑借其的抽速和針對性的低溫均熱設計，在以下場景中發揮著關鍵作用：

• 成膜裝置：作為濺射裝置、蒸鍍裝置等PVD設備的真空排氣核心。

• 負載鎖定室（Load Lock） ：縮短備料下料室的排氣時間，是提升整線產能的關鍵。

• 輔助排氣泵：作為渦輪分子泵、機械增壓泵的前級或輔助泵，構建多級真空系統。

五、選型對比：LR系列與HR/UR系列

在ULVAC的多級羅茨干泵家族中，LR、HR、UR三個系列有著明確的定位分工：

結語

ULVAC愛發科LR90多級羅茨型干泵，憑借112 m3/h的有效抽速、創新的低溫均熱化技術以及針對負載鎖定室和PVD工藝的深度優化，為半導體與平板顯示制造領域提供了一套高效、清潔、可靠的真空獲得方案。其無油運行消除了油污染風險，出色的耐腐蝕性與瞬停對策保障了長期穩定運行，而智能通信功能則賦能于 predictive maintenance。對于追求縮短排氣節拍、提升產能的PVD和負載鎖定室應用而言，LR90無疑是一個兼具性能與可靠性的理想之選。