日本艾泰克AITEC晶圓紫外線照射器MUVBA-0.4×0.6×0.2使用說明
日本艾泰克AITEC晶圓紫外線照射器MUVBA-0.4×0.6×0.2使用說明

特色
● 紫外線固化裝置,使用LED作為紫外光源切割膠帶
● 紫外線照射強度可調節,音量旋鈕(0 ~ 100%)
● 簡易紫外線安裝結構便于將紫外線照射器更換為其他波長
● N2凈化機制降低紫外線固化時的氧氣抑制
● N2預清洗機構減少額外紫外線照射時間
● N2 清洗量可通過流量計閥控制
把它拆下來,換上照射器。

用例示例
● 晶圓保護膜在反磨過程中硬化
● 紫外固化切割帶切割后固化
● 研發與實驗應用
● 小批量生產應用

半導體制造工藝(后端工藝)

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