納米操作機主要特點

來源：納特斯（蘇州）科技有限公司 2026年06月29日 21:32

超高定位精度

采用壓電陶瓷驅動，搭配閉環位移傳感，定位精度可達亞納米級別，運動無機械間隙、無摩擦，能精準操控納米線、薄膜、微小晶粒等微觀試樣，長時間工作漂移量極小。

宏微復合運動，兼顧大范圍與微調

設備分為宏動平臺與微動平臺：宏動實現毫米級大范圍快速移動，快速找到目標區域；微動負責微米范圍內納米級精細操作，不用反復切換樣品，提升實驗效率。

多自由度運動，操作靈活

支持XYZ三軸平移，部分機型額外配備旋轉、俯仰角度調節，可多角度調整探針、微夾鉗姿態，完成推移、拾取、切割、拉伸、探針接觸等各類納米尺度操作。

高精度力感知，帶力反饋

集成納牛級高靈敏力傳感器，實時捕捉探針和樣品之間的作用力，可自動緩沖緩沖沖擊力，避免戳壞脆弱樣品；同時能定量測試材料拉伸強度、粘附力等力學參數。

可集成于電鏡內部，原位觀測

整機體積小巧、低放氣，可直接放入SEM、TEM、FIB真空腔體；有無磁版本可選，不會干擾電子束成像，操作過程可同步實時成像觀察，實現操作與表征同步進行。同時支持大氣、真空、低溫多種環境工況。

末端工具模塊化更換

可快速替換鎢探針、碳納米管針尖、微夾鉗、納米切割刀等執行器，適配半導體失效分析、二維材料、生物微樣本、納米器件組裝等不同實驗需求。

自動化可編程，便于批量實驗

控制系統支持點位記憶、自動軌跡運行，可重復完成標準化納米操作；能聯動電學測試設備，一邊組裝微納器件一邊同步采集電學曲線，數據可完整存儲溯源。

抗干擾、穩定性強

機身采用低熱膨脹合金，搭配配套隔振平臺，隔絕地面震動、氣流干擾；壓電驅動無機械磨損，無油污碎屑污染樣品，適合潔凈實驗室、半導體檢測場景長期使用。

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