真空計的原理
真空計(Vacuum Gauge),又名真空表,是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應的變化進行氣壓的測量。在科研和工業生產中廣泛使用。
經常有同學詢問真空計原理,這里為大家做個系統的解釋,按照不同的真空計分類,詳細說明每種真空計的工作原理。
皮拉尼真空計原理:
利用電熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關系的原理,給燈絲通過恒流源供電加熱,由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開時帶走了能量,電阻絲的溫度會發生變化(恒溫)引|起電橋(惠斯通)電阻變化,根據電阻變化測算出氣壓。
熱陰極電離規真空計原理:
高溫燈絲發射電子,高能量電子撞擊氣體分子,氣體分子的一一個或多個電子被撞擊出去,形成帶正電的離子,帶電離子被離子收集極捕捉收集放大輸出,離子流的大小與氣體壓力成比例關系。
冷陰極電離規真空計原理:
冷陰極電離規也稱為潘寧規,和熱陰極電離規類似,仍是通過電離e氣體分子收集離子電流的方法進行氣壓測量,但與熱陰極電離規不同的是,它是利用磁控放電電離氣體分子產生離子。

真空計的量程范圍
在較高壓力時(10~1Pa)利用壓力差U型管壓力計,麥克勞真空計,薄膜計,彈簧管壓力計等。
在10~10Pa的中間壓力范圍,利用氣體性質(熱傳導,粘性)的變化而做成的皮氏計、粘性真空計。
在低壓力時,使用將氣體分子電離而測量的電離真空計。
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