單泵大流量，集成成本更低

單臺最大 108.6mL/min，無需多臺小泵并聯、同步伺服、多路管路，減少閥門、電機、PLC 同步程序，節省無塵車間寶貴空間。

高粘度介質輸送性能全系zui  優

8mm 大柱塞吸入截面積更大，5000cps 以上高粘度光刻膠、環氧膠、高固漿料吸料順暢，流量衰減遠小于 03/06。

長期量產穩定性更強、運維更少

同等輸出流量下轉速更低，凸輪、柱塞、單向閥磨損速率顯著降低，產線連續運行數月無需重新校準，減少停機維護頻次。

無脈動潔凈供液，適配gao端晶圓量產標準

三重柱塞交替輸出無脈沖，管路無壓力沖擊，不會產生微氣泡，杜絕晶圓針孔、膜厚不良，提升芯片良率。

全系列通用潔凈泵頭，兼容半導體各類腐蝕 / 高純介質

可切換非金屬 PEEK/PTFE 泵頭輸送光敏、厭氧、無金屬離子敏感化學品；哈氏合金適配強酸性蝕刻鍍液；316 拋光適配清洗、顯影藥液。