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富士 FUJI TECHNO HYSA-06 超高壓力三柱塞計量泵介紹
HYSA（HYS-A）是富士超級高壓中流量計量泵系列，定位高于實驗室微型 HYM 系列，主打超大壓力、更大流量、連續中試 / 小規模量產，HYSA-06 為該系列 6mm 柱塞標準機型。
一、核心基礎參數（HYSA-06）
表格
| 參數項 | 規格 |
|---|---|
| 型號 | HYSA-06 |
| 柱塞直徑 | 6 mm |
| 最大輸出流量 | 0.6 L/min = 600 mL/min |
| 標準最高耐壓 | 980 bar（98 MPa） |
| 計量重復精度 | ≤±0.1% FS |
| 驅動結構 | 三柱塞交錯凸輪無脈動結構 |
| 柱塞材質 | 標準硬質不銹鋼，可選陶瓷柱塞 |
| 標準泵頭材質 | SUS316L、哈氏合金、鈦材；無標準全 PEEK 非金屬款 |
| 粘度適配 | 1～10000 cps，高粘度漿料 / 膠液穩定輸送 |
| 控制方式 | 伺服電機閉環，4–20mA / RS485 通訊對接 PLC |
| 脈動特性 | 三柱塞交替輸出，脈動極小，無需緩沖罐 |
同品牌系列流量 / 壓力分層對比（HYSA vs HYM）
HYM 系列（實驗室微量）
HYM-03 最大 15.3mL/min，最高 250bar；HYM-06 最大 61.1mL/min，最高 200bar；HYM-08 最大 108.6mL/min，最高 98bar；僅小流量、中低壓。
HYSA-06（中流量超高壓）
600mL/min，980bar 超高壓，流量是 HYM-06 近 10 倍，壓力是 HYM-06 的 5 倍。
同系列拓展：HYSA-08/10/12，流量逐級提升至 2.3L/min，均支持數百 MPa 高壓工況。
二、核心結構與du有優勢
1. 980bar 超高耐壓，行業稀缺微量高壓方案
HYM 全系最高僅 250bar，HYSA-06 直接做到 98MPa，適配超高壓微通道、高壓加氫、超臨界流體、高壓晶圓涂層等ji端壓力工藝，是富士產品線高壓主力機型。
2. 三柱塞無脈動精密輸送
zhuan利分段凸輪驅動，三根柱塞連續交替吸排，流量輸出平穩，管路無沖擊微氣泡；高壓工況下膜厚、配比、霧化效果高度一致，提升半導體 / 化工良率。
3. 大流量輸送能力，適配中試量產
單臺 600mL/min，無需多臺 HYM 并聯，簡化管路、伺服同步系統，節省無塵車間設備占地，適合連續 24h 中試產線。
4. 高粘度、高固含量漿料適配能力強
6mm 大柱塞吸入截面大，機械強制柱塞回程，高粘度光刻膠、PI、拋光漿料、導電漿料不會吸料不足、流量衰減。
5. 全金屬耐腐蝕泵頭，適配強腐蝕高壓介質
接液部可選哈氏合金、鈦材，耐高氯離子蝕刻液、強酸電鍍液、強氧化性拋光液；陶瓷柱塞耐磨，輸送含顆粒 CMP 漿料使用壽命更長。
6. 流量線性不受壓力、粘度干擾
全量程轉速與流量嚴格線性，即便出口壓力接近 980bar、介質粘度大幅波動，輸出流量偏差仍控制在 ±0.1% 以內，工藝參數可長期固化。
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