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集成電路用ArF浸沒式光刻膠 - 水分的測試方法
T/ICMtia 5.2-2020 集成電路用ArF浸沒式光刻膠
范圍
本文件規定了ArF浸沒式光刻膠的要求、試驗方法、檢測標準及包裝、運輸、存儲。
本文件適用于集成電路用ArF浸沒式光刻膠。
術語和定義
ArF: Argon Fluoride 氟化氬
PFA: Perfluoroalkoxy alkane 全氟烷氧基樹脂
NMP: N-甲基吡咯烷酮
PGMEA: 丙二醇甲醚醋酸酯
浸出速率: Leaching test
技術要求
性狀
無色至淡微黃色透明液體。
試驗方法
水分
卡爾·費休庫侖法
按 GB/T 6324.8 的規定測定。
GB/T 6324.8-2014 有機化工產品試驗方法 第8部分: 液體產品水分測定 卡爾·費休庫侖電量法
卡爾·費休容量法
按 GB/T 606 的規定測定。
GB/T 606-2003 化學試劑 水分測定通用方法 卡爾·費休法
測試方法的選擇
當樣品中含水量較高時，推薦使用卡爾·費休容量法；含水量較小時(1000ppm以下)，使用卡爾·費休庫侖法能得到更準確的結果。
京都電子KEM 卡爾·費休庫侖法水分測定儀 MKC-710S
京都電子KEM 卡爾·費休容量法水分測定儀 MKV-710S
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