在精密光學檢測、半導體微加工、微觀科研實驗領域，地面微振動、環境抖動是造成成像模糊、數據偏移、光路漂移、加工精度不達標的主要問題。傳統被動隔振臺普遍存在低頻效果差、存在共振點、需要外接氣源、體積笨重等短板，難以滿足AFM原子力顯微鏡、STM掃描隧道顯微鏡、光刻、干涉檢測等納米級精度作業需求。Softworks 旗下 halcyonics nano 系列超小型主動隔振臺，憑借六自由度主動減振技術、無共振、無需氣源、響應速度快的優勢，成為光學、半導體、微機電行業主流精密減振設備。對 Nano20、Nano30、Micro40、Micro60、Micro80、I4 全系列型號進行完整對比與選型解析。

一、產品整體特點與核心優勢

halcyonics nano 系列為桌面型主動隔振設備，搭載高精度傳感器與電控減振系統，可實時監測并主動抵消多維度振動，實現六自由度方方位位減振。設備無需壓縮空氣氣源，安裝簡單、運維便捷，整機無共振頻率，規避共振抖動干擾。全系統一300ms快速振動收斂時長，可快速穩定臺面狀態，持續維持超低振動作業環境，非常適合對振動極其敏感的精密儀器與微加工設備配套使用。

二、全系列型號詳細參數對照表

三、

三、各型號定位與適用設備解析

Nano20、Nano30（桌面超小型機型）：兩款為外置控制結構，體積小巧、占用空間極小，是市面尺寸最小的主動隔振設備。隔振起始頻率1Hz，適合常規桌面精密儀器。Nano20適配輕型設備，Nano30承載更大，多用于高校實驗室、小型檢測工位，配套小型AFM顯微鏡、光纖調試設備、微型光學檢測儀器。

Micro40、Micro60、Micro80（工業通用中大型機型）：升級低頻減振能力，起始頻率低至0.6Hz，可抑制地面微弱低頻振動，減振精度更高。整機采用控制單元內置一體化結構，布線簡潔、安裝規整，承載可達100kg，適配MEMS微機電設備、光刻設備、高倍率光學顯微鏡、干涉儀、分光光度計等中大型精密檢測與加工設備。

I4（大承載高精度機型）：全系承載上限最高，最大負載120kg，適配重型精密運動平臺、大型激光校準系統、頂端半導體檢測設備。機身自重更輕、結構緊湊，兼顧大載荷與靈活性，適合工業級精密生產及頂端科研實驗室高精度作業場景。

四、產品用途與適用行業

五、選型總結