一、行業(yè)痛點(diǎn)：微小氣泡為何成為精密制程 “隱形殺手”

1. 半導(dǎo)體晶圓制程

   光刻膠、蝕刻液、剝離液中存在微泡，曝光后晶圓線路出現(xiàn)斷路、針孔、圖形畸變；溶解氧會(huì)氧化金屬層與藥液成分，縮短藥液使用壽命，大幅拉低晶圓良率。

2. FPD 面板制造

   彩膜顯影液、OLED 有機(jī)藥液內(nèi)氣泡，會(huì)造成像素缺色、面板斑點(diǎn)、顯示不均，成品報(bào)廢率顯著上升。

3. 醫(yī)藥與分析檢測(cè)

   液相色譜流動(dòng)相內(nèi)含氣體，會(huì)導(dǎo)致基線漂移、色譜峰分叉、檢測(cè)數(shù)據(jù)失真，影響藥品成分檢測(cè)精度；注射液緩沖液氣泡還會(huì)干擾制劑穩(wěn)定性。

4. 精密電鍍行業(yè)

   電鍍液溶解氧會(huì)加速金屬離子氧化，鍍層產(chǎn)生麻點(diǎn)、色差，零部件表面光潔度不達(dá)標(biāo)。

5. 

二、TYSEI UniTyflon TY-55 脫氣單元整體結(jié)構(gòu)解析

1. 外部承壓殼體

   采用 304 不銹鋼一體成型圓柱形筒體，表面拋光處理，無塵無析出，適配 Class100 潔凈車間；筒體具備穩(wěn)定承壓能力，適配產(chǎn)線管路持續(xù)流體輸送，外殼可拆解清洗重復(fù)使用。

2. 核心膜芯組件（UniTyflon 專屬中空纖維膜）

   內(nèi)部填充全 PTFE 聚四氟乙烯中空纖維絲束，PTFE 材質(zhì)具備極的致的耐化學(xué)特性，可兼容強(qiáng)酸、強(qiáng)堿、有機(jī)溶劑、高腐蝕光刻藥液；纖維管壁布滿微米級(jí)透氣微孔，氣體分子可穿透膜壁，液態(tài)藥液完的全的無法滲透，是實(shí)現(xiàn)氣液分離的核心介質(zhì)。

3. 頂部流體分配端蓋

   端蓋集成兩組防腐 PTFE 快插接頭，分三路接口：藥液入口、藥液出口、真空抽氣口。接頭無金屬接觸藥液設(shè)計(jì)，避免金屬離子污染高純工藝流體，管路拆裝便捷，適配自動(dòng)化設(shè)備內(nèi)置集成。

三、TYSEI UniTyflon TY-55 真空脫氣完整工作原理

1. 藥液進(jìn)入膜芯內(nèi)腔

   待處理工藝藥液從入口接頭流入，均勻分散至全部 PTFE 中空纖維的內(nèi)部空腔，藥液僅在纖維管內(nèi)單向流通，不與不銹鋼外殼直接接觸。

2. 殼體側(cè)建立負(fù)壓真空環(huán)境

   外部真空泵連接頂部真空接口，持續(xù)抽取筒體內(nèi)部、纖維絲束外側(cè)腔體空氣，形成穩(wěn)定負(fù)壓差。

3. 氣液分離滲透過程

   依據(jù)亨利氣體溶解定律，流體內(nèi)部溶解的氧氣、氮?dú)狻⒍趸迹约皯腋∥⑿馀荩瑫?huì)在內(nèi)外壓差驅(qū)動(dòng)下，穿透 PTFE 纖維管壁的透氣微孔，進(jìn)入筒體外側(cè)真空腔；液態(tài)藥液分子體積更大，無法穿過微孔，保留在纖維管路中持續(xù)流動(dòng)。

4. 脫氣后藥液輸出，廢氣持續(xù)排出

   去除溶解氣體與微氣泡的純凈藥液，從出口接頭輸送至下游制程；滲透出的氣體被真空泵持續(xù)抽出，完成循環(huán)脫氣，無需停機(jī)靜置，可 24 小時(shí)匹配流水線不間斷生產(chǎn)。

四、TYSEI UniTyflon TY-55 核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)

1. 廣譜耐化學(xué)腐蝕，適配全品類工藝藥液

2. 分級(jí)流量型號(hào)，覆蓋多行業(yè)生產(chǎn)需求

• TY-55010：微型款，最大處理流量 10mL/min，適配小型實(shí)驗(yàn)室色譜、微型濕法設(shè)備；

• TY-55080：通用標(biāo)準(zhǔn)款，最大流量 150mL/min，主流晶圓、面板產(chǎn)線標(biāo)配；

• TY-55100：低壓損大流量款，最大流量 250mL/min，適配中大型連續(xù)濕法制程。

3. 低流阻緊湊型結(jié)構(gòu)，設(shè)備集成友好

4. 潔凈無二次污染，滿足高的端的制造標(biāo)準(zhǔn)

5. 維護(hù)成本低廉，使用壽命長(zhǎng)

五、TYSEI UniTyflon TY-55 主流行業(yè)落地應(yīng)用場(chǎng)景

1. 半導(dǎo)體集成電路行業(yè)

   配套晶圓濕法清洗、光刻、蝕刻、剝離工序，對(duì)光刻膠、蝕刻藥液、超純水深度脫氣，消除線路針孔、斷路缺陷，提升晶圓良率。

2. FPD 液晶 / OLED 面板制造行業(yè)

   用于彩膜顯影工序、有機(jī)蒸鍍藥液輸送管路，去除藥液微氣泡，杜絕面板斑點(diǎn)、像素缺陷。

3. 醫(yī)藥與液相色譜分析行業(yè)

   高效液相色譜 HPLC 流動(dòng)相在線脫氣，穩(wěn)定檢測(cè)基線；制藥緩沖液、制劑藥液除氧，保障檢測(cè)與成品穩(wěn)定性。

4. 精密電子電鍍行業(yè)

   電鍍液持續(xù)脫氧，延緩藥液氧化變質(zhì)，改善鍍層麻點(diǎn)、色差問題，延長(zhǎng)電鍍藥液更換周期。

六、總結(jié)