ULVAC Qulee BGM2 四極桿殘余氣體分析儀深度解析

來源：池田屋實業（深圳）有限公司 2026年07月15日 15:28

ULVAC Qulee BGM2 四極桿殘余氣體分析儀深度解析 —— 鋰電真空工藝專用在線 RGA 監測設備

鋰電池真空烘烤、注液、化成、檢漏工序對真空監測設備提出多組分實時識別、微量雜質高靈敏檢出、24 小時連續穩定、現場免電腦操作、自動化產線聯動五大硬性技術指標。ULVAC Qulee BGM2 是愛發科面向量產工藝推出的經濟型四極桿質譜殘余氣體分析儀（RGA），采用成熟四極質量分離技術，區分 1~100/1~200amu 雙量程，搭配法拉第杯、二次電子倍增雙探測器方案，專為鋰電、鍍膜、真空爐量產在線監測優化，本文從核心參數、結構技術、工藝適配、選型運維展開專業解析。

一、核心規格性能參數（50Hz 標準工況）

質量分離：四極桿型質譜，分辨率 M/△M=1M（10% 峰高）；分 1~100amu（101/102）、1~200amu（201/202）兩款量程，覆蓋水汽、氮氣、氧氣、NMP、電解液分解氣體、氦示蹤氣全組分檢測。
探測系統：101/201 基礎款為法拉第杯，靈敏度 10??A/Pa；102/202 高配搭載二次電子倍增管，靈敏度提升至 4A/Pa，最小可檢測分壓達 10?1?Pa 級，精準捕捉 ppb 級微量雜質。
硬件功能：本體集成顯示單元，One Click 一鍵測量；同步總壓力測量；內置氦檢漏、空氣泄漏、本底掃描功能；支持 120℃原位烘烤，電子轟擊離子源脫氣；DC24V 供電，整機功耗 50W；標配 RJ45 以太網、數字 IO 接口，兼容 Windows 版 Qulee QCS 分析軟件。
工況適配：標準 KF 法蘭安裝；搭配 YTP-H 差分排氣單元可兼容 10~3000Pa 中高壓腔體；整機符合 CE、RoHS 工業安全標準ULVAC SHOW...。

二、鋰電專屬優化結構設計

寬量程有機氣體識別：200amu 量程型號可完整識別 NMP、碳酸酯電解液大分子，解決鋰電高溶劑工況普通 100amu 質譜無法檢出有機雜質的痛點，精準管控極片烘烤殘留溶劑。
抗污染長效離子源：封閉式磁控離子源，雙 Ir-Y2O3 備用燈絲；可原位高溫烘烤脫附溶劑、水汽，長期高污染工況基線穩定，大幅降低校準頻次。
分體式快拆維護架構：分析管與控制主機分離，離子源、倍增管獨立模塊化，故障更換無需整機返廠，縮短產線停機時間；倍增管無鈹有害物質，適配潔凈鋰電車間環保要求。
雙模式適配產線：單機直接對接高真空烘箱；搭配 Desktop YTP 差分泵組，可在線監測注液倉、化成中真空腔體，一套設備覆蓋全制程真空區間。

三、鋰電全工藝適配場景

極片真空烘烤：實時監測 H?O、NMP 殘留分壓，判定烘烤工藝是否達標，管控批次水分一致性；
真空注液 / 化成腔體：監測電解液分解產氣、微量空氣滲入，預警密封失效；
真空管路 / 腔體檢漏：搭配氦檢儀同步判定氦氣泄漏分壓，快速定位法蘭、密封圈微小漏點；
實驗室中試：電芯小樣真空脫氣、材料熱分解氣體組分分析、設備真空系統本底檢測。

四、選型邊界與運維技術優勢

選型區分：實驗室、小型間歇烘箱、僅監測水汽 / 空氣基礎雜質，選用 BGM2-101；量產隧道爐、高濃度 NMP 注液腔體、微量雜質高精度監測，選用 BGM2-202；需檢出 ppb 級痕量雜質、長期高負荷連續監測，優先帶倍增管的 102/202 型號。

運維優勢：無需工控機現場操作，降低配套硬件投入；一鍵自動檢漏、自動脫氣，操作門檻低；以太網直連產線 PLC/MES，20 通道組分趨勢長期存儲，數據全程可追溯；耗材更換周期長，年度維保成本遠高于進口科研級 RGA。

整機專為量產工藝性價比優化，在鋰電真空腔體雜質在線監測、隱性泄漏預警、長時間連續穩定運行場景，兼顧檢測精度與量產落地成本，是鋰電工廠真空工藝品質管控標準化主力在線氣體分析設備。

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