ULVAC愛發科低溫真空泵CRYO-U4H型參數介紹
池田屋ULVAC愛發科低溫真空泵CRYO-U4H型參數介紹
池田屋ULVAC愛發科低溫真空泵CRYO-U4H型參數介紹
CRYO-U4H 為日本 4 英寸標準型低溫泵,屬于 CRYO-U 小型超高真空系列,采用80K 屏蔽冷屏 + 20K 活性炭吸附板兩段式制冷結構,依靠低溫冷凝 + 物理吸附捕獲氣體,內部無潤滑油、無機械摩擦,可獲得無油超高潔凈真空。
規格參數
| 參數項目 | CRYO-U4H 技術指標 |
|---|---|
| 入口法蘭規格 | 4 英寸標準:UVG-160 / ANSI 4B / UFC-202 三接口通用 |
| 抽氣速率(20℃,單位 L/s) | 水蒸氣 H?O:1100氫氣 H?:500氮氣 N?:450氬氣 Ar:370 |
| 極限真空 | ≤1×10?? Pa(超高真空 UHV 區間) |
| 氬氣最大通流量 | 1.3×103 Pa·L/s |
| 氣體吸附容量 | Ar:1.0×10? Pa·L;H?:1.5×10? Pa·L |
| 降溫至工作溫度時間 | 50Hz:45min;60Hz:50min |
| 制冷結構 | 兩級 GM 閉式氦制冷機一級冷屏≈80K;二級冷板 10~15K |
| 配套氦壓縮機 | ULVAC C6 / C6AT / C6ES 系列 |
| 整機自重 | 14.5 kg,輕量化立式結構 |
| 運行振動 | 低振設計,不干擾光學、視覺檢測設備 |
| 再生選配 | 可選 RBH-6 加熱帶,縮短加溫再生時長 |
| 工作環境溫度 | 10~35℃ |
特點
?最大發揮了4-inch低溫泵的排氣特性。
?高排氣速度有助于提高排氣效率和生產率。
?特別適用于半導體制造設備和小型設備的濺射工藝。
?1臺壓縮機最多可以運行四臺泵
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