池田屋ULVAC愛發科低溫真空泵CRYO-U4H使用介紹

池田屋ULVAC愛發科低溫真空泵CRYO-U4H使用介紹

開機操作

1. 檢查配套設備：確認 C6 氦壓縮機水路通暢、干式前級泵（LS120A/DAU-20）、高純氮氣供氣正常，泵體立式固定，減震墊安裝到位。

2. 粗抽檢漏：關閉冷泵主閘閥，開啟粗抽閥啟動前級泵，抽至系統壓力≤40Pa；保壓 5 分鐘，壓力上升≤6.5Pa 即為無泄漏。

3. 啟動制冷：打開壓縮機冷卻水，啟動氦壓縮機，開啟溫控器制冷模式；50Hz 環境下等待約 45 分鐘，一級冷屏穩定 80K、二級冷板 10~15K，降溫完成。

4. 投入工藝：緩慢打開主閘閥，低溫泵進行超高真空精抽，壓力達標后開展鍍膜、濺射等作業，全程監控兩級冷體溫度。

停機操作

1. 隔離腔體：先關閉主閘閥，切斷冷泵與工藝腔體連通。

2. 關停制冷：停止冷頭制冷，氦壓縮機持續運轉 5 分鐘后斷電，關閉冷卻水。

3. 禁止直接通入大氣，如需再次使用，必須完成再生流程。

再生操作（吸附飽和執行）

1. 升溫脫附：關閉制冷，通入高純氮氣吹掃；選配加熱帶可縮短升溫時間，待泵體回升至室溫，吸附氣體、冰層充分脫附。

2. 排氣檢漏：開啟粗抽閥，前級泵抽排 15~25 分鐘，排凈內部脫附氣體，復檢系統漏率合格。

3. 重啟復用：關閉粗抽閥，重新啟動氦壓縮機制冷，降溫達標后即可投入生產。常規工況 7~14 天再生一次，高水汽、粉塵濺射工況縮短至 3~5 天。

日常點檢與禁忌

每日查看壓縮機水溫、運行噪音、冷體溫度、氮氣壓力與法蘭密封；每周清理前置擋板沉積粉塵，定期保養更換壓縮機濾芯、密封耗材。嚴禁大氣壓下啟動冷泵；半導體、光學潔凈工藝禁止搭配油式前級泵；抽含粉塵物料必須加裝前置擋板，避免損傷低溫吸附板。