日本愛發科HELIOT 711W1氦質譜檢漏儀技術介紹

日本愛發科HELIOT 711W1氦質譜檢漏儀技術介紹

愛發科HELIOT 711W1氦質譜檢漏儀技術介紹：磁場偏向型質譜分析原理與高精度氣密性檢測應用

在半導體封裝、新能源電池、真空裝置制造及食品醫藥包裝等對氣密性有嚴格要求的領域介紹，微小泄漏的精準檢測直接關系到產品可靠性與安全性。愛發科（ULVAC）HELIOT 711W1氦質譜檢漏儀依托磁場90度偏向型質譜分析原理與自由選擇流量方式排氣系統，以高靈敏度、快速啟動、智能操控等特性，成為各類真空設備泄漏檢測及產品氣密性檢測的可靠工具。

一、工作原理：磁場偏向型質譜分析與氦氣示蹤

HELIOT 711W1的核心工作原理建立在質譜分析（Mass Spectrometry） 與氦氣示蹤兩大技術之上。氦氣因其獨特的物理性質被選為理想示蹤氣體——原子半徑僅約31pm，可穿透其他氣體無法通過的超細微漏孔；化學惰性，不可燃、不反應，對設備和操作人員安全；在大氣中含量僅約5ppm，背景噪音極低，可保證測量精度。

設備的工作過程包含三個核心步驟：

• 電離：進入質譜分析管的氣體分子被燈絲加熱，經電子轟擊形成正離子（He?）

• 磁場偏轉分離：離子在固定磁場中加速運動，根據洛倫茲力原理，不同質荷比的離子偏轉軌跡半徑不同。只有質荷比為4的氦離子以特定半徑通過窄縫到達離子收集極

• 定量檢測：收集極捕獲到極其微小的離子電流（約10?1?A量級），經放大后轉換為泄漏率數值顯示在屏幕上

HELIOT 711W1安裝的專用排氣系統采用了自由選擇流量方式，可在保持高靈敏度的同時靈活適配不同檢測需求。

二、核心技術特點

1. 高靈敏度檢測，覆蓋寬泄漏范圍

HELIOT 711W1的最小可檢泄漏率在超微漏設定模式下可達0.1×10?12Pa·m3/sec。這一靈敏度水平可檢測到極微小的漏孔，適用于半導體封裝、真空裝置等對氣密性要求嚴苛的場景。設備支持6種測試模式的自由切換：

2. 快速啟動，縮短等待時間

HELIOT 711W1的啟動時間在無效正（快速起動）設定下僅需3分鐘。相比傳統檢漏儀較長的預熱和準備周期，這一快速啟動能力使設備可在需要時迅速投入使用，減少了等待時間，提升了檢測效率。停止時間同樣為3分鐘。

3. 智能校正與自動調零

設備在啟動時執行自動校正，配備的校正漏孔具有溫度補正和年補正功能。此外還搭載了靈敏度檢查功能，可對靈敏度數值進行管理。即使在啟動結束后，也可進行靈敏度再校正。對于測試系統容積較大的情況，建議使用1.0×10??Pa·m3/s以上的面型校正漏孔進行手動或自動靈敏度校正。

自動調零功能可開關控制，通過自動調零操作自動執行并補正零點偏移。

4. 智能操控與多語言界面

HELIOT 711W1配備彩色觸摸屏，操作方法及故障顯示均通過文字和圖像呈現。泄漏率顯示支持包括線性顯示、指針顯示在內的4種測試畫面的自由切換。

設備支持6種語言選擇：日語、英語、韓語、簡體中文、繁體中文、德語。

5. 豐富的輸入輸出接口

設備配備約20個輸入輸出信號點：

• 設定點（泄漏率接點）輸出3個

• 泄漏率輸出

• 打印機輸出

• 測試開始/結束信號輸入

• 主機起動/停止信號輸入

• RS-232C輸入輸出

外部閥方面，對設在外部的外部校正漏孔的閥輸出（24V）也可進行自動控制。

6. 閥操作全自動控制

HELIOT 711W1的內置閥采用全自動控制。外部閥同樣支持自動控制，有關其他內容的程序控制可根據需要定制軟件。

7. 緊湊設計與便攜性

設備外形尺寸為480（W）×335（D）×505（H）mm，重量約43kg。在同類檢漏儀中屬于緊湊設計，便于在不同檢測工位間移動部署。

三、性能參數一覽

數據來源：愛發科產品規格表

四、典型應用場景

半導體與電子制造：用于半導體封裝的氣密性檢測，確保芯片封裝后的密封可靠性；用于電子元器件、連接器的泄漏檢測。

真空裝置制造：用于各類真空設備的泄漏檢測，在設備出廠前驗證其氣密性。

新能源電池：用于二次電池（鋰電池等）的漏液測試，檢測電池殼體密封性，防止電解液泄漏。

制冷與空調：用于空調、冰箱等制冷系統的泄漏檢測。

食品與醫藥包裝：用于食品、藥品包裝的密閉性檢查，有效防止外界空氣和微生物侵入。

科研與實驗：用于科研實驗中的真空系統泄漏檢測。

五、總結

HELIOT 711W1是愛發科在氦質譜檢漏領域的一款代表性產品。通過磁場90度偏向型質譜分析原理與自由選擇流量方式排氣系統的配合，在實現0.1×10?12Pa·m3/sec最小可檢泄漏率的同時，將啟動時間縮短至3分鐘。其6種測試模式、自動校正與調零、彩色觸摸屏操控、多語言支持及豐富接口等特性，使其成為半導體封裝、新能源電池、真空裝置制造及食品醫藥包裝等對氣密性有嚴格要求的場景中可靠的檢測工具。

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