ULVAC愛發(fā)科水晶振蕩式成膜控制器CRTM-R1-EL的操作使用

CRTM-R1-EL 是一款水晶式成膜控制器，針對(duì)有機(jī) EL 沉積工藝和鈣鈦礦太陽能電池沉積工藝進(jìn)行了優(yōu)化。

采用了一種新的測(cè)量方法來高分辨率并顯著提高速率穩(wěn)定性。

特點(diǎn)

采用新的測(cè)量方法，速率穩(wěn)定性顯著提高。

能力（CI值）測(cè)量提高了晶體板的異常檢測(cè)能力。

可以同時(shí)控制 8 個(gè)元件。 （添加選項(xiàng)時(shí)）

通訊方式兼容以太網(wǎng)和RS-232C。

CRTM-R1-EL上保存的各種日志數(shù)據(jù)可以以 CSV 格式傳輸?shù)?USB。

通過使用 Calc-Z 功能，即使對(duì)于 Z 比未知的材料，也可以在自動(dòng)計(jì)算 Z 比的同時(shí)沉積材料。

用途

有機(jī)EL沉積和鈣鈦礦太陽能電池沉積工藝中的薄膜厚度、速率管理和控制

規(guī)格

*1:設(shè)置 Tooling=100、Density=1 時(shí)的值

*2:這是通過 Tooling=100、Density=1 轉(zhuǎn)換頻率分辨率獲得的值。

選項(xiàng)介紹

使用CRTM-R1-EL時(shí)，需要另外選購選配的CTM-EL(-D)+電纜組、傳感器、導(dǎo)入法蘭等。

傳統(tǒng)CRTM與新型CRTM-R1-EL沉積率比較

CRTM-R1-EL噪音低，工作穩(wěn)定。

【CRTM-R1-EL 】

【CRTM 】