什么是干泵？

滿足電子和半導體行業需求的泵

干泵是一種在真空室中不使用油或液體的機械真空泵。

在FPD、電子、半導體產業等領域，為了改善產品的成品率、可維護性，需要使用干泵。其中有代表性的泵是羅茨型干泵。

使用了羅茨型干泵的技術!

FPD制造裝置、半導體制造裝置、真空蒸餾、精制脫氣、殺菌、干燥脫水、消毒等

羅茨型干泵的特征

多段結構的羅茨型干泵

羅茨型干泵是將多段機械增壓泵為一體的干泵。羅茨型干泵使用三葉轉子，通過單軸連接多段轉子，能夠壓縮、排氣至大氣壓。

有點　　可獲得清潔真空，從大氣壓到到達壓力均可使用。

缺點　　

羅茨型干泵的結構

通過高速旋轉的轉子輸送氣體

該泵的殼體中有兩個三葉轉子（旋轉體），轉子通過一對齒輪以相同的周期相反方向旋轉。轉子間，以及轉子和殼體間不會接觸，保持微小的間隙旋轉，對氣體進行壓縮和輸送。轉子具有多段結構，壓縮至大氣壓，并排放到大氣中。轉子，殼體中不使用油等密封液，因此可以進行清潔排氣。油用于齒輪和軸承的潤滑，但設計了密封結構以防止油進入殼體。