真空泵（高真空）的基礎知識擺動活塞型干泵

來源：玉崎半導體(深圳)有限公司 2026年07月17日 17:57

什么是擺動活塞型干泵？

擺動活塞型干泵的外觀如圖所示。這種類型的泵是通過與偏芯旋轉軸聯動的活塞的往復運動來運送氣體的機械式真空泵。

由于該真空泵無油，所以無法避免氣缸和活塞環的滑動部的空氣回流。該泵結構簡單，因此極限壓力低，但在低真空范圍內可以獲得穩定的壓力。另外，根據機型,也可以作為壓縮機的加壓源使用。

此泵廣泛應用于印刷電路板安裝裝置、真空包裝機、包裝材料吸附輸送機、標簽機、印刷油墨脫泡機、印刷機、照片制板機、絲網印刷機、脫泡機、沉浸機、燒結爐、抽吸機、汽車尾氣分析機、冷媒回收裝置、等離子切割裝置等。

擺動活塞型真空泵的外觀

真空泵（高真空）的基礎知識擺動活塞型干泵

擺動活塞型真空泵的結構

真空泵（高真空）的基礎知識擺動活塞型干泵

業內又稱搖動活塞干泵，典型代表為愛發科 ULVAC DOP 系列，屬于小型低真空無油容積泵，主打潔凈負壓吸附、小型氣源，和渦旋、螺桿干泵定位wan全區分開

偏心曲軸 + 一體式擺動活塞
電機直連偏心凸輪，活塞無連桿銷軸，隨曲軸做擺動 + 上下往復復合運動（Wobble 搖擺動作）；活塞外圈配耐磨橡膠 / PTFE 皮碗，與氣缸內壁滑動密封，泵腔全程無潤滑油。
單 / 雙氣缸并聯
小型單缸、中大流量雙缸并排，并聯結構減小氣流脈動。
單向進氣 / 排氣閥片
膜片式微型閥門，配合活塞往復完成吸排氣；標配風冷散熱風扇，整機無需水冷。
基礎防護
內置過熱保護、簡易進氣濾芯、排氣消音棉；部分型號兼具抽真空 + 加壓兩用（SP 后綴機型可輸出 0.5MPa 正壓）。

偏心軸旋轉帶動活塞在氣缸內擺動往復：

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