手機版
化工儀器網手機版
化工儀器網小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關注視頻號
池田屋ULVAC愛發科多級羅茨干泵HR90使用介紹
池田屋ULVAC愛發科多級羅茨干泵HR90使用介紹
池田屋ULVAC愛發科多級羅茨干泵HR90使用介紹
ULVAC HR90是半導體、精密化工行業專用多級羅茨干式真空泵，采用全無油結構，搭配水冷散熱與氮氣吹掃系統，具備耐腐蝕、高抽速、低運維成本的優勢，廣泛適配CVD、蝕刻、真空鍍膜等精密工藝的真空抽取作業，支持本地手動、遠程PLC自動雙控制模式，規范標準化操作可有效規避設備卡死、腐蝕、超溫等故障，保障產線穩定運行。
設備開機前必須完成點檢工作，杜絕帶故障啟動。首先檢查電氣系統，確認三相380V供電正常、急停按鈕復位，設備接地良好、無電路報警。其次核查公用工程條件，確保冷卻水管路通暢、無滲漏，進水溫度維持常溫，流量滿足設備運行要求；工藝氮氣壓力穩定在0.2-0.3MPa，吹掃氣路潔凈無堵塞。同時檢查泵體狀態，齒輪箱潤滑油油位處于標準區間、油質清亮，進排氣管路暢通，進氣隔離閥保持關閉，進氣濾網干凈無粉塵雜物，清空設備歷史報警故障，確認整機工況正常。
開機操作需嚴格遵循分步流程，嚴禁重載啟動。先開啟冷卻水與氮氣吹掃系統，預吹掃3分鐘，置換泵腔內空氣與雜質，避免工藝氣體殘留沉積。隨后在控制面板啟動設備，電機軟啟動空載運行，持續觀察5分鐘，監測電機電流、設備振動、運行異響、泵體溫度等參數，確保泵體溫度穩定在85℃以下，無異常振動與金屬摩擦聲，設備空載運行平穩后，緩慢開啟工藝進氣閥，對接真空腔體開展抽氣作業。設備運行期間，需實時監控水冷、氮氣吹掃、泵體溫度等核心參數，嚴禁斷吹掃、斷水冷運行，杜絕長期抽吸含粉塵、腐蝕性工藝氣體。
設備停機分為日常停機與長期停機兩種規范流程。日常生產停機時，先關閉腔體進氣隔離閥，隔絕工藝氣源，加大氮氣吹掃力度，持續吹掃10-20分鐘，清除泵內殘留腐蝕氣體與沉積物，保護轉子核心部件。吹掃完成后停止泵體運行，冷卻水需持續通水冷卻1小時以上，待泵體充分降溫至常溫后，方可依次關閉水、氣閥門。若為節假日、檢修長期停機，需延長氮氣吹掃時長，排空管路積水，封堵進出氣口防塵防潮，斷開設備總電源，做好設備封存防護。
日常運維需堅持班前點檢、定期保養，每日核查設備運行參數與報警信息，每周清理進氣濾網與排氣過濾器，按照設備工時定期更換齒輪潤滑油。嚴格遵守操作規范，可有效降低設備故障率，延長干泵使用壽命，保障精密真空工藝持續、穩定、高效運行。
相關產品
免責聲明
- 凡本網注明“來源：化工儀器網”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品，未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明“來源：化工儀器網”。違反上述聲明者，本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其他來源（非化工儀器網）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時，必須保留本網注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發表之日起一周內與本網聯系，否則視為放棄相關權利。
采購中心