干式泵的氣體通道內不含液壓油。因此，不存在油霧污染廢氣或油蒸發擴散到真空室的風險。干式泵的主要優點在于其能夠提供清潔的廢氣和真空環境。

干式泵的一大優勢在于無需定期維護，例如加注或更換機油。干式泵的其他特點包括體積小、重量輕、振動小、噪音低。

干式泵有多種設計，用于輸送氣體。干式泵的主要類型是容積式泵，其中旋轉泵最為常見。

1. 葉片泵

葉片泵是一種泵，其內部裝有多個葉片，這些葉片在一個圓形空間內旋轉，利用葉片產生空氣湍流。葉片產生的離心力使其與圓形空間的壁面接觸，形成密封環境。

2. 爪泵

爪式泵有兩個并排的爪形轉子，它們反向旋轉以排出氣體。氣體被壓縮后排出到泵的外部。

3. 多級羅茨泵

多級羅茨泵也是一種利用一對反向旋轉的轉子將吸入的氣體排出泵外的泵。這些轉子的葉片橫截面呈繭狀。

4. 渦旋泵

渦旋泵是一種利用旋轉渦旋在固定渦旋內移動來輸送氣體的泵，該固定渦旋的壁與渦旋的壁相同。

5. 螺桿泵

螺桿泵由一到三個螺桿和一個容納螺桿的泵殼組成。當螺桿旋轉時，氣體被推出泵殼并排出。

除了上述旋轉式干式泵外，還有采用容積式原理的往復式干式泵。往復運動的部件包括隔膜、活塞和波紋管。