羅茨泵具有顯著提高排氣速度的功能。

當(dāng)與油回轉(zhuǎn)真空泵或干泵等粗抽泵組合時(shí)，在粗抽泵排氣速度下降的壓力范圍內(nèi)，使用羅茨泵可以使排氣速度顯著上升。

使用了羅茨泵的技術(shù)!

半導(dǎo)體工藝、真空蒸餾、真空包裝、脫氣、薄膜、真空冶金、低密度風(fēng)洞實(shí)驗(yàn)、航天開(kāi)發(fā)、真空含浸、真空干燥等

羅茨泵的特點(diǎn)

廣泛應(yīng)用于與其他泵組合使用

當(dāng)與油回轉(zhuǎn)泵或干泵組合使用時(shí)，羅茨泵通常用于顯著提高排氣速度和降低極限壓力。

優(yōu)點(diǎn)　　10KPa～0.1Pa排氣速度大幅提高

缺點(diǎn)　　會(huì)有回流

羅茨泵的結(jié)構(gòu)

2個(gè)羅茨轉(zhuǎn)子擠壓氣體

殼體中的兩個(gè)8字型轉(zhuǎn)子裝在軸端部的驅(qū)動(dòng)齒輪上并向相反方向同步旋轉(zhuǎn)。從進(jìn)氣口進(jìn)入的氣體被限制在殼體和轉(zhuǎn)子之間的空間中，通過(guò)轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)排出到排氣口側(cè)，并通過(guò)后段的輔助泵排放到大氣中。

當(dāng)與油回轉(zhuǎn)真空泵或干泵等粗抽泵組合時(shí)，在粗抽泵排氣速度下降的壓力范圍內(nèi)，使用羅茨泵可以使排氣速度顯著上升。

羅茨泵的外觀，如圖所示。殼體中的兩個(gè)8字型轉(zhuǎn)子裝在軸端部的驅(qū)動(dòng)齒輪上并向相反方向同步旋轉(zhuǎn)。

從進(jìn)氣口進(jìn)入的氣體被限制在殼體和轉(zhuǎn)子之間的空間中，通過(guò)轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)排出到排氣口側(cè)，并通過(guò)后段的輔助泵排放到大氣中。

轉(zhuǎn)子間，以及轉(zhuǎn)子和殼體間不會(huì)接觸，保持微小的間隙（0.1至0.3mm）旋轉(zhuǎn)，對(duì)氣體進(jìn)行壓縮和輸送。轉(zhuǎn)子室中不需要潤(rùn)滑油，因此可以實(shí)現(xiàn)具有較少油蒸氣污染的真空排氣。轉(zhuǎn)子可以高速旋轉(zhuǎn)，因此不必?fù)?dān)心與殼體摩擦的風(fēng)險(xiǎn)。

此類(lèi)泵可以作為大氣壓下排氣的其他類(lèi)型泵的輔助泵使用，用于高真空側(cè)。特點(diǎn)是可以在極限壓力0.5～５Pa寬范圍內(nèi)發(fā)揮穩(wěn)定的性能。