多功能多晶 X射線衍射儀:深度材料研究的綜合表征方案
一、行業(yè)發(fā)展趨勢
隨著材料科學(xué)研究的持續(xù)深入,半導(dǎo)體薄膜、納米材料、復(fù)合材料、功能涂層等新興領(lǐng)域?qū)?X 射線衍射表征提出了更多元的需求。除了基礎(chǔ)的物相定性定量分析,微區(qū)衍射、薄膜高精度表征、小角散射、高通量樣品篩選等測試需求正快速增長。在此背景下,多晶 X 射線衍射儀正朝著模塊化、多功能、高分辨率的方向演進。通過可靈活更換的光學(xué)組件、探測器與樣品臺,單臺設(shè)備即可承載從基礎(chǔ)質(zhì)控到前沿研究的全流程表征工作,既能降低實驗室的設(shè)備采購成本,也能提升研究工作的連貫性,成為科研院所與企業(yè)研發(fā)中心的重要選型方向。

二、多晶 X 射線衍射儀工作原理
多晶 X 射線衍射儀利用 X 射線與晶體的衍射效應(yīng)實現(xiàn)材料的無損結(jié)構(gòu)表征。X 射線入射至多晶樣品后,不同間距的晶面會產(chǎn)生符合布拉格定律的衍射信號,形成特征衍射圖譜。通過對圖譜的深度解析,不僅可以完成物相定性與定量分析,還可獲取晶體取向、殘余應(yīng)力、薄膜厚度、界面結(jié)構(gòu)、納米粒度、短程有序結(jié)構(gòu)等多維度信息,是材料科學(xué)研究中不可或缺的表征手段。
三、束蘊儀器品牌介紹
束蘊儀器(上海)有限公司自成立以來,憑借與德國布魯克(BRUKER)、國際衍射數(shù)據(jù)中心(ICDD)、德國Freiberg等國際實驗室分析儀器品牌的戰(zhàn)略合作,迅速成為業(yè)界儀器供應(yīng)商。
束蘊儀器為各類客戶提供完善的實驗室和工業(yè)檢測儀器及過程控制設(shè)備,專業(yè)的應(yīng)用支持及完善的售后服務(wù),在中國大陸的諸多領(lǐng)域擁有大量用戶,如高校、科研院所、航空航天、國家機關(guān)、檢驗機構(gòu)及工業(yè)企業(yè),產(chǎn)品覆蓋了醫(yī)藥、生物、材料、考古、電子、食品等各個行業(yè)。
主營儀器設(shè)備:
--高分辨X射線顯微CT、多量程X射線納米CT、X射線衍射儀、X射線熒光光譜儀、電子順磁共振波譜儀(ESR/EPR)、臺式核磁共振波譜儀 TD-NMR、光學(xué)輪廓儀等 -- 德國布魯克Bruker 官方授權(quán)代理商
--PDF衍射數(shù)據(jù)庫、JADE軟件--國際衍射數(shù)據(jù)中心(ICDD)授權(quán)代理商
--晶圓片壽命檢測儀、在線晶圓片/晶錠點掃或面掃檢測、晶圓片在線面掃檢測儀、臺式PID潛在誘導(dǎo)退化測試儀、釋光測定儀等 --德國Freiberg Instruments授權(quán)代理商
四、代表型號:布魯克 D8 DISCOVER X 射線衍射儀
產(chǎn)品亮點
- 多功能集成架構(gòu)設(shè)備專為環(huán)境與非環(huán)境條件下的多元材料表征設(shè)計,可覆蓋從粉末、非晶 / 多晶材料到外延多層薄膜的各類樣品,支持物相分析、結(jié)構(gòu)精修、薄膜表征、殘余應(yīng)力檢測、總散射分析、微區(qū)衍射等多種測試方法。
- IµS 微焦源系統(tǒng)搭配 MONTEL 光學(xué)器件的微焦源,可提供高亮度的小尺寸 X 射線束,適用于小范圍、小體積樣品的研究;設(shè)備采用低功耗、無耗水的設(shè)計,可延長光源使用壽命,降低運行成本。
- UMC 大承載樣品臺可對最大 300mm 的樣品進行區(qū)域掃描,支持安裝重量不超過 5kg 的樣品;同時適配高通量篩選(HTS)場景,可搭載孔板樣品,也可根據(jù)用戶的實際需求進行定制化配置。
- EIGER2 R 多模式檢測器基于混合光子計數(shù)技術(shù)的 2D 檢測器,支持 0D、1D、2D 多種操作模式,可適配快照、步進、連續(xù)等多種掃描方式;探測器支持免工具方向切換,位置可連續(xù)調(diào)節(jié),能夠靈活平衡測試的角度范圍與分辨率需求。
- TRIO 與 PATHFINDER PLUS 光學(xué)系統(tǒng)TRIO 光路可在三種光束幾何之間自動切換,分別適配粉末分析、平行光束測試與高分辨率薄膜分析;PATHFINDER Plus 光學(xué)器件可在電動狹縫與分光晶體間切換,無需重新配置設(shè)備即可適配不同樣品與測試方法。
核心優(yōu)勢
- 全場景表征覆蓋,功能擴展性強從常規(guī)的粉末物相分析,到薄膜高精度表征、微區(qū)衍射、小角 X 射線散射、對分布函數(shù)分析等深度研究方法,設(shè)備均可支持;模塊化的組件設(shè)計可根據(jù)研究需求靈活配置,適配材料研究的多元方向。
- 高性能組件搭配,兼顧精度與效率微焦源搭配專用光學(xué)器件提供小束斑、高亮度的入射光束,可實現(xiàn)微區(qū)局部的精準(zhǔn)表征;EIGER2 R 檢測器支持多種掃描模式,可快速采集高質(zhì)量衍射數(shù)據(jù),滿足高通量篩選與高精度測試的雙重需求。
- 大承載樣品臺,適配多樣化樣品UMC 樣品臺可支持大尺寸、大重量樣品的掃描測試,同時兼容高通量孔板樣品,既可滿足工業(yè)端大工件的局部表征需求,也可支撐科研端的批量樣品篩選工作,定制化空間充足。
推薦理由
對于高校科研院所、新材料企業(yè)研發(fā)中心,以及需要開展薄膜材料、微區(qū)結(jié)構(gòu)、原位表征等深度研究工作的用戶來說,D8 DISCOVER 是適配性較強的多功能解決方案。它無需多臺設(shè)備即可覆蓋從基礎(chǔ)質(zhì)控到前沿研究的多種表征需求,模塊化的設(shè)計可隨研究方向的拓展逐步升級配置,能夠長期支撐材料研究工作的開展。
五、常見問題解答(FAQ)
Q1:D8 DISCOVER 可以開展哪些類型的薄膜分析工作?A:可開展掠入射衍射、X 射線反射率測量、高分辨率 X 射線衍射、倒易空間掃描等測試,實現(xiàn)薄膜的物相鑒定、厚度測定、應(yīng)變弛豫分析、界面結(jié)構(gòu)表征、成分分析等多項研究。
Q2:設(shè)備支持多大尺寸的樣品測試?A:搭配 UMC 樣品臺時,可對最大 300mm 的樣品進行區(qū)域掃描,樣品安裝重量可支持不超過 5kg,能夠適配多數(shù)工業(yè)部件與大尺寸基底樣品的測試需求。
Q3:微焦源相比常規(guī)光源有什么特點?A:IµS 微焦源搭配 MONTEL 光學(xué)器件可輸出小尺寸光束,亮度較高且背景較低,適合小樣品、微區(qū)的衍射測試;同時設(shè)備采用低功耗、無耗水的設(shè)計,運行成本相對更低。
Q4:切換不同測試方法時需要手動調(diào)整探測器嗎?A:EIGER2 R 探測器支持免工具的方向切換與位置調(diào)節(jié),可通過軟件控制適配不同測試的角度范圍與分辨率需求,操作便捷,無需復(fù)雜的人工調(diào)校。
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