P.R.A. PHV系列高壓電源:兼容Johnson-Rahbek與Coulomb型ESC的通用選擇

廣泛的ESC類型兼容性
Johnson-Rahbek (J-R) 型 ESC
Coulomb 型 ESC
核心優勢:工藝保護與效率提升
低儲能與電流限制:電源具備低儲能和內置電流限制功能,能有效防止因電壓浪涌或電弧放電對晶圓等精密工件造成損傷,為您的核心工藝保駕護航。
極性反轉與自動放電:內置的極性反轉功能可以有效中和吸盤上的殘余電荷,配合高壓關閉后的自動放電功能,顯著改善了晶圓的“去吸盤”(De-chucking)過程,提高了生產節拍和良率。
抗射頻干擾:設備內置了RF Block Filter(射頻阻斷濾波器),能夠有效過濾2MHz至13.56MHz頻段的射頻干擾。這確保了電源在等離子體等復雜電磁環境下依然能夠穩定工作,不受干擾。
豐富的型號選擇與靈活控制
輸出類型:提供單極性(Uni-polar)、雙極性(By-polar)和雙極性中心抽頭(By-polar Center Tap)三種輸出類型。
電壓范圍:覆蓋從±1KV到±8KV的廣泛電壓范圍,功率為10W。
控制方式:支持本地控制(前面板開關和電位器)和遠程控制(外部接口),并提供線性的電壓和電流監控信號,方便集成到自動化系統中。
總而言之,P.R.A. PHV系列高壓電源不僅是一款兼容性強的通用解決方案,更是一款集工藝保護、效率提升和穩定運行于一體的高性能產品,是精密制造領域中靜電吸盤應用的可靠伙伴。
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