探針臺（Prober）是半導(dǎo)體測試和材料研究中常見卻容易被誤解的設(shè)備。簡單說，它的作用是用細(xì)小的探針（probe）精準(zhǔn)接觸芯片或晶圓的電極焊盤，把電信號引出來做測量。沒有探針臺，芯片內(nèi)部的晶體管性能就"測不到"。

一、探針臺到底干什么用

一塊晶圓上有幾百到上千顆裸芯片（die）。在封裝前，需要先篩選良品——這一步叫 CP 測試（Chip Probing）。探針臺把多根探針同時扎到一顆 die 的焊盤上，配合測試機(jī)（Tester）施加電壓/電流并讀取響應(yīng)，判斷該 die 是否合格。科研場景下，探針臺還用于單器件 I-V 特性、光電響應(yīng)、低溫輸運等表征。

二、探針臺和測試機(jī)的區(qū)別

兩者配合：探針臺負(fù)責(zé)"對得準(zhǔn)、扎得穩(wěn)"，測試機(jī)負(fù)責(zé)"測得準(zhǔn)"。

三、什么時候需要真空探針臺

• 真空/低氣壓環(huán)境測試：如場發(fā)射、真空輸運、避免氧化；

• 高低溫測試：真空隔熱便于控溫，配合冷熱臺可達(dá) -190℃~300℃；

• 敏感器件：需在惰性氣氛或真空下避免表面污染。

四、選型看哪些指標(biāo)

• 定位精度：科研級通常 ±1–2 μm，決定能否對準(zhǔn)微小組焊盤；

• 探針數(shù)（Site）：1–8 針常見，多針可并行測多參數(shù)；

• 溫區(qū)：常溫/高低溫/真空，按實驗需求選；

• 樣品尺寸：支持 2/4/6/8 英寸晶圓或小塊樣品。

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