什么是真空門閥？

這些閥門主要用于真空設(shè)備和半導(dǎo)體制造設(shè)備，設(shè)計用來分離多個真空室和大氣環(huán)境，彼此間及真空室之間。

閘閥有多種開閉方式、其工作功率和閥門結(jié)構(gòu)。選擇時會考慮閥體之間的壓差、開閉速度、運行過程中產(chǎn)生的灰塵和雜物水平、耐熱性和化學抗性等因素。 尺寸范圍廣泛，從直徑數(shù)十毫米的小到僅幾米寬的平板顯示器生產(chǎn)設(shè)備中的大型。

真空門閥的應(yīng)用

它用于分離多個真空室，或?qū)⒄婵帐遗c大氣側(cè)分離。 在這種情況下，它作為隔斷，保持一個真空室處于恒定真空狀態(tài)，同時將加工物質(zhì)輸送到另一個真空室，并隨大氣進出。

此外，它也用作調(diào)節(jié)真空室氣體流量的閥門，在這種情況下，在控制閥門開啟比的同時調(diào)整排氣速度。 作為流量控制閥時，采用具有快速開閉速度的蝶式閥。

真空門閥原理

真空門閥根據(jù)閥體和開閉結(jié)構(gòu)有多種變體。閥體材料主要為不銹鋼或鋁制，開閉動力選項包括手動、電動和氣動式，均由壓縮空氣驅(qū)動。 閥體配備O型圈和密封材料以保持真空室的氣密性，部分產(chǎn)品內(nèi)置加熱器以維持與高溫控制真空室相同的溫度。

升程式閘閥

這是最常見的類型，閥體通過上下移動來開合。 小件物品通過一次抬舉動作實現(xiàn)氣密，但較大的產(chǎn)品通常有兩個動作：抬起→推。
由于閥體兩側(cè)均為真空密封，殼體還包含了機密結(jié)構(gòu)，如O型圈。 閥體有方形和圓形兩種形狀。

門閥

將大氣側(cè)與真空室分隔開的閥門稱為門閥。 它類似于升壓式閘閥，但由于大氣壓，一側(cè)沒有殼體，閥體與真空腔體緊貼以確保氣密。

擺門閥

它有一個圓形閥體，通過像鐘擺一樣的運動開合。 其特點是緊湊，滑動部件較少，同時具有低塵埃產(chǎn)生的優(yōu)勢。