ULVAC 愛發(fā)科 DIS-90 渦旋干式真空泵 產品介紹 玉崎科學儀器原裝現(xiàn)貨

一、基礎概述

二、核心技術規(guī)格

三、工作原理

四、產品核心特點

五、典型應用場景

1. 分析儀器：氦氣檢漏儀、質譜儀、SEM 掃描電鏡、表面分析設備前級泵

2. 光學 / 半導體小型設備：小型鍍膜、Load-Lock 預抽、晶圓小型真空載臺

3. 實驗室真空：小型真空腔體、樣品脫氣、真空干燥、氣體回收系統(tǒng)

4. 通用精密設備：小型等離子設備、科研真空實驗裝置

六、重要使用注意事項

1. 工況限制

   不可抽吸大量粉塵、有機溶劑蒸汽、強酸、鹵素、液態(tài)水；僅允許微量水汽，長時間含水工況必須持續(xù)開啟空氣吹掃。

2. 進氣建議

   進氣前端務必加裝粉塵過濾器，固體顆粒會刮傷渦旋密封面，造成極限真空惡化。

3. 對比選型參考

• DIS-90：渦旋干泵，極限真空 5Pa，低噪潔凈，適合分子泵前級、精密儀器；

• DOP-301SB：搖動活塞干泵，抽速更大、極限真空僅數(shù)千 Pa，適合粗真空吸附；

• LS120A：螺桿干泵，大抽速、水冷，面向工藝腔體。