標(biāo)題：法國(guó)piezoconCept納米定位平臺(tái)Z Stage產(chǎn)品系列

主要產(chǎn)品

該品牌主要產(chǎn)品圍繞壓電納米定位平臺(tái)展開：

一軸納米定位平臺(tái)：提供單一軸向的高精度運(yùn)動(dòng)，如Z軸定位器。

二軸納米定位平臺(tái)：提供XY軸或類似雙軸運(yùn)動(dòng)，可組合成大孔徑平臺(tái)（如66×66 mm）。

三軸納米定位平臺(tái)：提供XYZ三軸運(yùn)動(dòng)，可用于搭建掃描探針顯微鏡（SPM）系統(tǒng)。

物鏡掃描臺(tái)：專為顯微鏡物鏡對(duì)焦設(shè)計(jì)。

快速偏轉(zhuǎn)鏡：用于激光束穩(wěn)定、快速光束轉(zhuǎn)向等應(yīng)用。

手動(dòng)微操作臺(tái)：可與納米定位器組合，搭建粗精結(jié)合的混合定位系統(tǒng)。

控制器及附件：包括單軸、多軸控制器等配套設(shè)備。

主要型號(hào)

本文重點(diǎn)介紹Z軸定位器（Z Stage）系列，該系列是品牌一軸納米平臺(tái)的代表。根據(jù)行程范圍，主要型號(hào)分為：

Z Stage - 5μm行程型

Z Stage - 10μm行程型

Z Stage - 25μm行程型

Z Stage - 50μm行程型

法國(guó)piezoconCept納米定位平臺(tái)Z Stage產(chǎn)品系列產(chǎn)品介紹：

法國(guó)piezoconCept納米定位平臺(tái)Z Stage產(chǎn)品系列

產(chǎn)品介紹

Z Stage是一款緊湊型Z軸直接驅(qū)動(dòng)納米定位器，具備較高的運(yùn)動(dòng)速度。該平臺(tái)采用柔性鉸鏈（flexure）導(dǎo)向設(shè)計(jì)，以實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦的平滑運(yùn)動(dòng)，并通過(guò)低噪聲電子器件實(shí)現(xiàn)位移控制。其位移通過(guò)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器實(shí)現(xiàn)，通過(guò)施加電壓控制其伸縮，從而帶動(dòng)平臺(tái)產(chǎn)生納米級(jí)運(yùn)動(dòng)。Z Stage可單獨(dú)使用，也可與二軸納米定位器組合，用于搭建三軸掃描平臺(tái)系統(tǒng)。

主要技術(shù)參數(shù)（基于該產(chǎn)品系列典型值）：

行程范圍：可選5μm、10μm、25μm、50μm

控制器：包含在內(nèi)，可選配USB接口

負(fù)載能力：可根據(jù)需要提供更高負(fù)載版本

穩(wěn)定性：提供皮米級(jí)穩(wěn)定性和亞納米級(jí)噪聲底限

法國(guó)piezoconCept納米定位平臺(tái)Z Stage產(chǎn)品系列優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)

? 直接驅(qū)動(dòng)高速響應(yīng)：采用壓電直接驅(qū)動(dòng)，響應(yīng)時(shí)間較短（<2ms），適用于需要快速定位的應(yīng)用場(chǎng)景。

? 柔性鉸鏈導(dǎo)向：無(wú)摩擦、無(wú)間隙的運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向設(shè)計(jì)，保證了運(yùn)動(dòng)的平滑性和重復(fù)性，有助于實(shí)現(xiàn)高精度定位。

? 硅基傳感器技術(shù)：其Si-HR位置傳感器被描述為在穩(wěn)定性和線性度方面具有優(yōu)勢(shì)，可與昂貴的電容傳感器相比較。

? 低噪聲電子設(shè)計(jì)：通過(guò)低噪聲電子器件和柔性設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了較低的背景噪聲水平，有助于提高測(cè)量的信噪比。

? 系統(tǒng)組合靈活：可與手動(dòng)平臺(tái)或其他多軸平臺(tái)組合，實(shí)現(xiàn)大行程粗調(diào)與納米級(jí)精調(diào)的混合系統(tǒng)

法國(guó)piezoconCept納米定位平臺(tái)Z Stage產(chǎn)品系列主要應(yīng)用：

法國(guó)piezoconCept納米定位平臺(tái)Z Stage產(chǎn)品系列產(chǎn)品。

超分辨率顯微鏡：用于樣品的高精度定位和掃描，以滿足超分辨成像的苛刻要求。

原子力顯微鏡（AFM）與掃描探針顯微鏡（SPM）：作為關(guān)鍵的掃描或樣品定位部件。

光學(xué)捕獲與光鑷：用于精確控制微?；蚬馐奈恢谩?/span>

納米制造與納米壓?。河糜诟呔燃庸み^(guò)程中的定位。

激光束穩(wěn)定與快速光束轉(zhuǎn)向：配合快速偏轉(zhuǎn)鏡等附件實(shí)現(xiàn)。