日本株式會社 MIKASA米卡薩MS-B100 / MS-B150 實驗室旋涂機(勻膠機)
MIKASA(米卡薩)MS-B100 / MS-B150 實驗室旋涂機(勻膠機)全資料
一、產品概述
MS-B100:4 寸及以內小基板專用
MS-B150:6 寸晶圓 / 100mm 方片通用款
產品核心優勢
潔凈適配:無刷伺服無碳粉揚塵,連續長時間運行溫升低,膜厚重復性 ±0.6% 以內,光刻膠 / PI 膠 / 光學膠通用;
可編程工藝:分段提速、保速、降速自定義,可存儲多款產品工藝,一鍵調取配方;
安全設計:標配真空欠壓保護、上蓋選配安全聯鎖,超薄易碎晶圓可自定義真空吸附閾值防破片,方形基板可設定停機定位;
拓展選配:自動滴膠裝置、多規格真空吸盤(2/3/4/6 寸)、有機玻璃密閉防塵罩、廢氣收集套件(B150 支持滴膠選配,B100 原廠不支持外置滴膠)。
四、適用涂布材料 & 行業
涂布介質
應用領域
半導體研發:分立器件、晶圓芯片試樣光刻工藝;
光電行業:光學玻璃、濾光片、FPD 顯示基材涂膜;
科研院校:微電子、材料、光學實驗室教學試驗;
PCB / 微電子:小片基板阻焊、干膜預處理涂覆。
六、選型建議
試樣≤4 寸片、實驗室小試 → MS-B100
常用 4/5/6 寸晶圓、多規格基板 → MS-B150(主流熱銷)
在科技日新月異、制造業不斷追求**的今天,美薩公司憑借其對市場需求的敏銳洞察和*的技術研發實力,隆重推出了 MIKASA 品牌的全新旋轉涂布機——MIKASA MS - B150。這一新品的亮相,無疑為半導體制造等相關行業帶來了新的發展契機。
產品概述
2025年7月最新發布MIKASA MS-B150是一款小型高性能旋涂機,屬于日本MIKASA品牌,適用于潔凈室環境,主要用于半導體等行業的薄膜涂布工藝。該產品在防止污染、溫度控制及膜厚精度方面表現出色。
核心特點
潔凈室適配性:采用AC伺服無刷電機,減少發熱及污染物產生,適合潔凈室連續運行。
高精度控制:轉速精度達±1rpm(負載時),膜厚再現性優異。
操作靈活性:支持100步×10種模式的步進控制,可自定義涂布流程。
技術規格
| 參數項 | 詳細規格 |
|---|---|
| 最大板尺寸 | φ4英寸晶圓或75×75mm基板 |
| 轉速范圍 | 20~8,000轉/分 |
| 旋轉精度 | ±1rpm(負載時) |
| 真空系統 | 標準配備真空聯鎖裝置,壓力-0.08~-0.1MPa |
| 外形與重量 | 259寬×246高×330深(毫米),10公斤 |
| 可選配置 | 蓋子(需單獨選購) |
| 其他限制 | 無法安裝滴水裝置 |
適用場景與應用行業
半導體制造:晶圓表面涂層制備。
精密電子:小型基板的均勻涂布工藝。
科研實驗:實驗室級薄膜材料研發。
代理銷售各類工業品:,USHIO牛尾(點光源)CCS西西愛視,AITEC艾泰克(光箱、光源、圓形環形光),LEIMAC 雷馬克、HOYA光源
,REVOX萊寶克斯,Hitachi日立科學儀器、SIMCO思美高(離子棒),SSD西西蒂(離子風扇),KASUGA春日(離子棒)、MUSASHI武藏點膠機(點膠機),Nordson諾信EFD(點膠機),IEI巖下(點膠機),EPSON愛普生機器人,KURABO倉紡(脫泡機),日本THINKY新基脫泡機,TAGAWA十川(軟管),SHOWA昭和電機(鼓風機),TSUBAKI椿本鏈條,KIKUSUI菊水(電源),CEDAR思達(扭力測試儀),MEISEI邁澤(電熱剝線器)、artray相機、TAKASAGO高砂制作所(直流電源)、RION理音(測振儀)、HOKUTO DENKO北斗電工、TML東京測器、SIGMAKOKI西格瑪光機、FLOWELL 福威、ASAHI旭有機材、KYOWA共和(應變片)、ONOSOKKI小野(傳感器)、FUJIKURA藤倉(單向閥)、SK新瀉精機(水平測量尺)SKSATO佐藤(溫度記錄儀)、TECLOCK得樂(硬度計)、AND愛安得(電子天平)、KEM京都電子(水分儀)、TOHNICHI東日(扭力扳手)、ULVAC愛發科泵、IWAKI易威奇、SAN-EI三英(點膠閥)(泵)、kashiyama柏山(干式泵)、MARUYAMA丸山(泵)、、Kanetec強 力(高斯計)、SAKURAI櫻井(無塵紙)、NIRECO尼利可(傳感器)、TOFCO東富科(流量計)、eoptics頤光科技(反射膜厚儀)、TOKYO KEISO東京計裝(超聲波液位計)、RKC理化工業(數顯控制器)、YAMATO雅瑪拓(恒溫箱)、YAMADA雅瑪達(隔膜泵)、KOFLOC小島(浮子流量計)、KITZ開滋(閥門)、CKD喜開理(氣缸)、NYS西村化工(半導體)、三菱重工MHI 蝸輪減速機、Kanomax加野、PISCO碧士克、TOYO光通信器、FUJILATEX***精器、MIKI PULLEY三木普利、KONSEI近藤製作所 、SGK昭和技研、KOSEMK考世美、shibuya澀谷光學、hakko八光電機、Iwasaki巖崎、OTSUKA大塚電子(光學膜厚儀)、KOSAKA小坂(臺階儀)、HORIBA堀場儀器(分析儀)、SIBATA柴田科學(環境測定)、TORAY東麗濃度儀(氧氣分析儀)、yamada山田鹵素強光燈、CEDAR思達、MIKASA米卡薩(旋涂設備、顯影)、POLARION普拉瑞、otsuka大塚(膜厚儀、粒度儀)、Tsubosaka壺坂電機,IMV愛睦威,PISCO匹士克接頭,hakko八光電機,lambda拉姆達膜厚
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