MIYUKI美幸輝氣動角式真空閥AB-N16 介紹

    AB-N16 屬于 AB 系列氣動角式真空閥，采用 NW16（KF16）ISO-KF 快拆法蘭，單作用彈簧常閉驅(qū)動結(jié)構(gòu)，通氣開啟、斷氣自動閉合。閥體采用 L 型角式流道設(shè)計(jì)，整機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊，占用軸向安裝空間較少，適配真空腔體側(cè)壁直接安裝場景。閥門支持選配磁性感應(yīng)開關(guān)，輸出閥位信號對接自動化控制系統(tǒng)；閥體在潔凈環(huán)境完成裝配調(diào)試，密封表現(xiàn)穩(wěn)定，適配常壓至 1×10??Pa 中高真空工況，廣泛適配多個(gè)制造行業(yè)小型真空管路隔斷工況。

    半導(dǎo)體行業(yè)多用于晶圓檢測腔體、小型等離子清洗設(shè)備，作為真空計(jì)采樣支管、小型腔體預(yù)抽管路隔離閥。氣源中斷時(shí)，閥門依靠彈簧自動閉合，阻擋大氣倒灌進(jìn)入真空腔體，降低真空規(guī)、樣品氧化污染的風(fēng)險(xiǎn)。角式結(jié)構(gòu)可直接裝配在腔體壁面，無需額外轉(zhuǎn)接管路，簡化設(shè)備內(nèi)部管路布局。對比直通式 SE-N16，角閥布局更適合腔體側(cè)壁向外接管的安裝工況。

    光學(xué)鍍膜行業(yè)適配小型蒸發(fā)鍍膜、真空封裝設(shè)備，用于樣品預(yù)處理腔體、小型蒸發(fā)源管路通斷。設(shè)備檢修階段可隔離局部管路，縮短腔體重復(fù)抽真空時(shí)長；KF 快拆法蘭結(jié)構(gòu)拆裝便捷，便于現(xiàn)場維護(hù)作業(yè)。

    鋰電與真空檢測行業(yè)，配套小型氦質(zhì)譜檢漏工裝、真空脫泡設(shè)備支管控制，穩(wěn)定的密封性能維持真空系統(tǒng)基礎(chǔ)真空水平。科研與高校實(shí)驗(yàn)室常選用該型號搭建管式爐、真空材料測試平臺，用作樣品充氣支路、真空監(jiān)測管路控制閥門，第三方真空工藝研發(fā)平臺也將其用于搭建小型實(shí)驗(yàn)管路。

    閥座采用均衡壓緊密封結(jié)構(gòu)，標(biāo)配 FKM 氟橡膠密封圈，可根據(jù)工藝氣體工況調(diào)整密封材質(zhì)；閥門啟閉循環(huán)次數(shù)充足，長期重復(fù)運(yùn)行工況下密封狀態(tài)保持穩(wěn)定。安裝角度選擇豐富，可根據(jù)腔體結(jié)構(gòu)靈活調(diào)整管路走向。

    相較于直通真空閥，角式結(jié)構(gòu)適配腔體側(cè)壁直裝，減少管路折彎轉(zhuǎn)接。同系列擁有 AB-N25、AB-N40 多款口徑規(guī)格，可按照管路尺寸靈活選型。作為進(jìn)口緊湊型角式真空切斷元件，AB-N16 結(jié)構(gòu)精簡、安裝方式靈活，是鍍膜設(shè)備、真空檢測儀器、實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)小型腔體配套常用真空閥門方案。