日本YAMADA山田光學YP-150I高亮度鹵素射鏡檢查燈技術解析
一、產品概述
YP-150I是日本山田光學(YAMADA)旗下高亮度鹵素光源裝置系列中的緊湊型主力機型。山田光學深耕工業光學照明領域多年,其高亮度鹵素射鏡檢查燈在半導體、精密電子、光學玻璃等高制造領域享有盛譽。
YP-150I是一款專為精密表面缺陷檢測設計的宏觀觀察照明裝置,主要用于硅晶圓、玻璃基板、液晶面板等工件表面的劃痕、異物、拋光不均、霧度等微小缺陷檢測。該設備以超過400,000勒克斯的超高照度、3400K高色溫的穩定照明以及冷鏡低發熱技術為核心優勢,能夠檢測出僅憑精密探測儀器才能發現的微米級瑕疵。憑借其出色的性能,YP-150I已成為眾多精密制造企業質量控制環節的標準照明工具。
注:YP-150I主要適用于檢查6英寸及以下較小尺寸的半導體晶片等樣品,而同系列的YP-250I則適用于8英寸等較大尺寸樣品的檢測。
二、技術參數
YP-150I高亮度鹵素射鏡檢查燈的詳細技術規格如下表所示:
| 參數項 | 規格/數值 | 說明 |
|---|---|---|
| 產品型號 | YP-150I | 高亮度鹵素射鏡檢查燈 |
| 照射范圍 | φ30 mm | 圓形光斑 |
| 照度 | ≥ 400,000 lx | 超高亮度,可檢測微米級缺陷 |
| 照射距離(工作距離) | 140 mm | 固定工作距離 |
| 光源類型 | 鹵素燈(使用冷鏡) | 冷反射鏡光學系統 |
| 燈泡型號 | JCR15V150W(USHIO牛尾原裝) | 日本原裝鹵素燈 |
| 燈泡壽命 | 約50小時 | — |
| 色溫 | 3,400 K | 高色溫,接近日光 |
| 色調 | 白色 | — |
| 環境溫度 | 0 ~ 40 ℃ | 寬溫域適應 |
| 冷卻方式 | 強制排氣(風扇冷卻) | 高效散熱 |
| 安裝軸 | φ12 mm | 便于固定與角度調節 |
| 主機尺寸(燈頭部) | 100(W) × 245(H) × 116(D) mm | 緊湊設計 |
| 主機重量(燈頭部) | 約1.7 kg | 輕便易攜 |
| 電源輸入電壓 | AC100V 50/60Hz | 標準日本電壓 |
| 功耗 | 約200 W | 低功耗運行 |
| 光照強度調節 | 電壓調節方式 | 支持多檔位微調 |
| 電源部分尺寸 | 140(W) × 94(H) × 185(D) mm | — |
| 電源部分重量 | 約2.4 kg | — |
| 輸入電線 | 2.0 m VCTF電線 0.75sq(附帶插座) | — |
| 輸出電線 | 2.5 m VCTF電線 1.25sq(附帶金屬連接器) | — |
| 腳踏開關線 | 3.0 m(底部金屬連接器) | 方便操作 |
| 光強變動率 | ≤ 1%(針對輸入波動、溫度漂移) | 光線高度穩定 |
三、核心優勢
3.1 超高照度,微米級缺陷清晰可辨
YP-150I的核心競爭力在于其超過400,000勒克斯的超高照度。在φ30 mm的圓形照射區域內,這一照度水平足以讓肉眼直接觀察到僅憑精密探測儀器才能檢測出的微米級瑕疵。對于半導體晶圓表面的劃痕、異物顆粒、拋光不均、霧度、滑移等各類缺陷,YP-150I均能提供清晰銳利的視覺呈現。
3.2 高色溫與優異顯色性,真實還原表面狀態
YP-150I采用鹵素燈作為光源,色溫高達3400 K。高色溫意味著光線更接近日光光譜,配合Ra>95的高顯色指數,能夠真實還原工件表面的色彩與紋理細節,有效避免因色差導致的缺陷誤判。照度和顏色的高度均勻性保證了穩定而銳利的照明效果。
3.3 冷鏡技術,熱影響降至傳統鋁鏡的1/3
這是YP-150I最核心的技術亮點之一。設備采用冷反射鏡(Cold Mirror)鍍膜光學系統,該冷鏡能夠反射可見光用于照明,同時透射紅外熱輻射。這一設計將工件表面的熱影響降低至傳統鋁鏡的1/3。在實際使用中,工件表面溫升≤2℃,有效保護了硅晶圓、光學玻璃、液晶面板等熱敏感工件,支持長時間連續檢測而不損傷樣品。
3.4 光線高度穩定,確保檢測一致性
YP-150I采用電壓調節方式進行亮度控制,綜合光強變動率≤1%。這一指標意味著即使在輸入電壓波動或環境溫度變化的情況下,輸出光強依然保持高度穩定,有效抑制了光強漂移,確保不同批次、不同時間段的檢測結果具有良好的一致性和可重復性。
3.5 靈活操作,適配多場景檢測需求
靈活安裝:配備φ12 mm安裝軸,燈頭支架可靈活調節角度與高度,適配多角度檢測需求
3.6 緊湊輕量,適配多種工作場景
YP-150I燈頭部尺寸僅為100×245×116 mm,重量約1.7 kg。小巧輕便的設計使其既可作為臺式設備固定使用,也可便攜移動至不同工位。強制風扇冷卻系統確保高效散熱,環境適應溫度0~40℃,適應各類工業現場環境。
四、應用領域
4.1 半導體晶圓制造
YP-150I在半導體行業應用最為廣泛,涵蓋晶圓制造、檢測和研發的各個環節:
晶圓表面缺陷檢測:硅晶圓、碳化硅(SiC)、砷化鎵(GaAs)等晶片表面的劃痕、異物顆粒、滑移線檢測
化學機械拋光(CMP)后檢查:驗證拋光效果,發現拋光不均、霧度等問題
光刻工藝表面檢查:確保光刻過程無表面缺陷干擾
YP-150I主要用于檢查6英寸及以下較小尺寸的半導體晶片。
4.2 液晶與平板顯示
用于液晶基板、OLED/LCD面板等顯示器件制造過程中的表面質量管控,可檢測異物顆粒、劃痕、拋光不均、霧狀等缺陷。
4.3 光學玻璃與精密光學元件
適配光學玻璃、精密鏡片的拋光質量與外觀缺陷檢查。高顯色性能夠真實還原光學元件表面的細微紋理與缺陷特征。
4.4 電子元器件與PCB
可檢測PCB板、電子元器件的微小瑕疵與焊點缺陷。
4.5 其他精密制造領域
適用于珠寶鑒定、精密裝配輔助照明,以及科研機構和高院校的精密觀察實驗等場景。
五、品質保障與選型建議
YAMADA山田光學作為日本工業光學照明領域的品牌,YP-150I秉承其一貫的精密制造工藝與嚴格品質管控標準。設備采用日本USHIO原裝JCR15V150W鹵素燈,核心光學元件(冷鏡、集光透鏡)經過精密鍍膜與光學設計,確保長期使用中的性能穩定性。
在選型時,用戶需根據檢測樣品的尺寸選擇合適型號:
YP-150I:照射范圍φ30 mm,工作距離140 mm,適用于6英寸及以下晶圓、小型基板等樣品檢測
六、總結
日本YAMADA山田光學YP-150I高亮度鹵素射鏡檢查燈憑借≥400,000 lx的超高照度、3400 K高色溫與Ra>95的高顯色性、冷鏡低發熱技術(熱影響僅為傳統鋁鏡的1/3)、≤1%的光強變動率以及1.7 kg的輕量化設計,已成為半導體晶圓、液晶基板、光學玻璃等精密制造領域表面缺陷檢測的設備。其超高亮度讓微米級瑕疵無所遁形,冷鏡技術有效保護熱敏感工件,穩定光線確保檢測一致性,靈活操作適配多場景需求——四大核心優勢共同解決了傳統照明設備在精密檢測中的亮度不足、發熱嚴重、顯色性差等痛點,為企業質檢環節提供了可靠高效的照明支撐,助力提升產品良品率與檢測效率。
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