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奧偉登CIOE 2025光學測量雙新品首發 破解高精度光學檢測難題
2025年09月12日 15:06:47
來源：化工儀器網 作者：宋池 點擊量：11412
在Evident（奧偉登）新品發布會后，化工儀器網特別采訪了公司應用工程師吳丹霞和高級經理馬永堅，請他們詳細解讀了剛剛發布的LEXT OLS5500激光共聚焦顯微鏡和WLI白光干涉物鏡系列的技術特點與應用價值。
9月10日，在第26屆中國國際光電博覽會隆重舉辦之際，國際光學科技企業Evident(奧偉登)以全新中文品牌名稱首次亮相這一行業盛會，并在展會期間成功舉辦新品發布會，重磅推出LEXT OLS5500激光共聚焦顯微鏡與WLI白光干涉物鏡系列兩款創新產品。其多技術集成設計與針對性解決行業痛點的性能表現，成為展會焦點。
為進一步挖掘新品在技術細節、精度優勢、場景適配等維度的核心價值化工儀器網在發布會后特別專訪了 Evident 應用工程師吳丹霞與高級經理馬永堅，圍繞兩款新品的定位、技術突破及應用落地展開深度對話。以下是采訪實錄：
Q：在剛剛結束的發布會上，奧偉登發布了激光共聚焦顯微鏡OLS5500。我們對于這款新產品的一個定位是什么呢?它能夠滿足一些怎么樣的一個應用場景呢?
吳丹霞：此次推出的全新一代激光共聚焦顯微鏡OLS5500是一款面向研發、質量檢測和質量控制(QA&QC)等領域的中高端三維輪廓精密測量系統。它集高精度、高穩定性和高效率于一體，可以全面覆蓋多種嚴苛的工業和科研場景的需求：在電子半導體市場，它可以有效兼顧檢測精度和效率；在材料科學市場，先進的成像技術和豐富的分析工具可以幫助實現對材料微觀結構的深入解析；在精密制造市場，則可以保障批量檢測中數據的可靠性和流程一致性。
Q：隨著工業制造水平的逐步提升，用戶對光學顯微鏡提出了更高的要求。奧偉登本次發布的這款新產品相較于前代產品實現了什么樣的技術突破？如何更好地滿足亞微米3D觀察和表面粗糙度測量的精準度要求？
吳丹霞：OLS5500相較于上一代產品最核心的突破，在于首次將激光掃描顯微、白光干涉和聚焦變化三種主流光學成像技術集成于一體，將設備的微觀分析能力從OLS5100的微米級別拓寬延伸至覆蓋毫米級到納米級，實現“一臺設備檢測多種樣品類型”。相較之下，它既可以在保障準確性的同時實現更高的分析精度，而且對于同個樣品可以無縫實現從宏觀輪廓到納米結構的跨尺度精密分析，并且可以滿足大視場下的亞微米甚至納米級3D 觀察和表面粗糙度測量需求。
Q：OLS5500目前的精度可以達到多少？這個精度在同類產品中處于怎樣的技術水平？在實際應用場景過程中，這種高分辨率是如何應對工業環境當中的干擾問題呢？
吳丹霞：OLS5500的平面分辨率能達到0.12 微米，垂直分辨率能達到0.08納米。這個分辨精度，在同類產品中處于第一梯隊。在實際工業環境中，振動、溫度波動、電磁干擾等都是高精度測量需要克服的問題。OLS5500采用的是Evident自主研發的光學系統，能夠實現設備性能的穩定和一致，確保出廠設備的測量噪聲水平達到最佳；其次OLS5500機身帶有混合式減震設計能穩定操作環境；同時在軟件的設計上智能噪聲判斷功能能自動檢測可靠數據，消除環境噪聲的干擾。這些設計使得OLS5500即使在復雜條件下也仍能為用戶提供可靠的高精度數據。目前Evident是業內唯一可同時保證激光掃描與白光干涉測量準確性和重復性的企業。
Q：奧偉登本次發布的白光干涉物鏡在光學性能上有著什么樣的突破？在材料、技術等方面如何提升物鏡干涉條紋對比度？
馬永堅：此次新發布的白光干涉物鏡是基于大量客戶需求調研后進行的獨特設計，重點解決了當前白光干涉儀在測量大坡度樣品時的技術難題。
首先，該物鏡具備較高的數值孔徑，最高達到0.8，能夠更有效地收集來自大坡度光滑樣品表面的反射光，從而顯著提升白光干涉儀在這類樣品上的測量精度。同時，物鏡配備了干涉條紋溫度補償調節環。在環境溫度發生波動時，用戶可通過調節該環始終保持最佳的干涉條紋對比度，無需因溫度變化而擔心測量穩定性。此外，我們在調節環上設置了四個固定螺絲，每隔90度布置一個。這樣用戶在使用過程中可有效避免因設備振動或調節環自身位移所導致的干涉條紋偏移問題，進一步保障測量的重復性與準確性。
除了結構方面的優化，每一個出廠物鏡均附有嚴格的檢測報告，其中包括參考鏡的粗糙度與對比度數據。因為參考鏡作為白光干涉物鏡的核心部件，其質量直接影響測量的準確性。同時，我們還提供波前像差校準報告。此外，該物鏡采用半復消色差光學設計，具有良好的分辨率和色差校正能力。
Q：這款產品如何滿足晶圓等表面形態的檢測需求，尤其是在粗糙度與臺階高度測量方面？
馬永堅：隨著半導體技術和MEMS器件的廣泛應用，具有復雜坡度結構且需納米級測量的樣品越來越多。針對這方面的需求，我們調研了眾多客戶實際案例，將產品設計重點放在高數值孔徑上，使其能夠實現對高陡坡樣品的納米級三維形貌測量。這正是當前行業的一大痛點，也是我們產品的核心優勢。
Q：與傳統的干涉物鏡相比，這款產品在測量速度、環境適應性與智能化操作方面是否具備差異化優勢？
馬永堅：是的。例如，我們20倍物鏡的數值孔徑為0.65，10倍物鏡更是達到了0.8。相比之下，傳統物鏡通常需達到50倍放大倍率才能實現與我們20倍物鏡相當的數值孔徑。高數值孔徑帶來最直接的優勢是檢測通量的大幅提升。我們的20倍物鏡視場面積可達傳統50倍物鏡的6倍。在進行大區域掃描或圖像拼接時，可顯著減少拼接次數，從而提高檢測效率和整體測量通量。
Q：這款產品的最終定位是什么？它適用于哪些應用場景？
馬永堅：這款白光干涉物鏡主要應用于基于白光干涉測量技術的光學輪廓儀。無論是用于研究室、實驗室的臺式光學輪廓儀，還是集成于在線檢測設備中，只要設備使用了白光干涉檢測技術，均可適配這款物鏡。它適用于需要高精度表面形貌測量的多種工業與科研場景。
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