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移動端訪問更便捷聚焦產業前沿,超精密光學與微納加工跨越精度極限
2026年04月28日 14:35:04
來源:化工儀器網 點擊量:3610

2026年9月9-11日在深圳國際會展中心舉辦CIOE精密光學展&攝像頭技術及應用展。
隨著高端制造、半導體檢測、生物醫療、AR/VR等前沿領域對光學系統性能要求的持續攀升,傳統光學元件的加工極限正被不斷突破。微納加工技術憑借其亞微米乃至納米級的圖形轉移與結構制備能力,已成為光學元件高端化、功能集成化的核心抓手。當前,超精密光學產業正經歷三大關鍵躍遷:加工精度從μm級向nm級跨越、國產超精密設備加速替代進口、光學元件向微型化與集成化深度演進。
將于9月9-11日在深圳國際會展中心舉辦的CIOE精密光學展&攝像頭技術及應用展,正是匯聚超精密加工領域創新力量、打通技術堵點、洞察產業升級方向的關鍵平臺。
精度躍遷:從μm級到nm級的加工能力突破
超精密光學加工的核心目標,是實現光學元件面形精度與表面粗糙度的數量級突破。長期以來,傳統研磨拋光技術受限于工具磨損與去除不確定性,加工精度始終停留在微米級,難以滿足前沿領域的高端需求。隨著確定性加工技術的突破性發展,這一局面得到根本性改變:離子束修形可實現原子量級去除,面形收斂精度優于λ/50;磁流變拋光技術讓表面粗糙度達到0.5nm RMS以下;單點金剛石車削配合納米級氣浮主軸,可在有色金屬和紅外晶體上直接加工出納米級光潔表面。與此同時,光學玻璃與晶體材料的配方及熔煉工藝持續優化,為高精度加工提供了更優質的基底支撐。不過,大口徑非球面、自由曲面的全頻段誤差控制,以及硬脆材料的亞表面損傷抑制,仍是當前產業亟待突破的關鍵難題。
產業鏈在上述方向取得了一系列突破:在確定性加工裝備領域,美國Precitech的超精密單點金剛石車床可實現亞微米級形狀公差與納米級表面粗糙度,去年其全球客戶解決方案中心啟用,為復雜光學曲面加工提供系統化平臺。在光學材料領域,康寧推出2.0高折射率玻璃,可幫助AR/MR可穿戴設備實現更寬廣的視場角,晶圓直徑涵蓋150毫米、200毫米和300毫米。國內方面,長沙埃福思科技(ÅFiSy)深耕超高精度離子束拋光裝備,先后推出多款新型離子束拋光機,最大加工零件尺寸從300mm到2m不等。設備采用非接觸式原子級去除原理,加工精度達埃米(0.1nm )級。加工面形精度優于 λ/50 PV、λ/1000 RMS(λ=632.8nm)。可加工平面、球面、非球面、離軸面及自由曲面,適配微晶玻璃、ULE、融石英、藍寶石、單晶硅等多種材料,成功打破國外在超高精度離子束拋光領域的長期壟斷,為航空航天、高功率激光、半導體光刻等尖端領域提供核心國產裝備支撐。
設備自主:國產超精密加工裝備加速替代進口
超精密加工裝備是光學元件制造能力的基石。長期以來,高端單點金剛石車床、磁流變拋光機、離子束修形設備以及超精密磨床等核心裝備高度依賴進口。近年來,國內裝備企業在主軸回轉精度、靜壓導軌技術、在位測量與補償、環境熱穩定性等關鍵領域持續突破。五軸聯動機床的定位精度從±5μm提升至±2μm甚至更高;國產飛秒激光加工站實現了硬脆材料的無熱損傷微加工;數控研磨拋光設備開始集成機器人自適應拋光與工藝數據庫。與此同時,超硬材料工具的自主化,為硬脆材料高效低損傷加工提供了新路徑。
在超精密磨削裝備領域,江蘇優普納深耕核心技術自研,集成油靜壓軸系、氣浮主軸與納米級智能數控系統,打造高端光學非球面復合磨床。產品聚焦光學、光通信以及半導體領域超精密模具加工場景,關鍵加工精度優異,工件面形 PV 值≤0.15μm,表面粗糙度 Ra<5nm,技術水準躋身國際前沿行列。
海普超精(北京海普瑞森)專注超精密高端裝備制造,攻克靜壓技術關鍵難題,實現靜壓主軸、轉臺、導軌等核心部件自主生產。搭載自研數控系統與加工軟件,形成裝備研發、整機制造、工藝服務完整閉環。海普超精聚焦航空航天、精密光學、半導體等高端領域,深耕高端精密機床及成套裝備研發生產,堅持自主創新,以全鏈條制造優勢,打造國產超精密裝備標桿,助力國家高端制造發展。
博眾泰達(哈爾濱市博眾泰達光學精密有限公司)依托哈工大專業科研團隊,深耕超精密加工領域。依托國家級科研項目成果,專注高端精密裝備研發、生產與技術服務,擁有納米級核心技術,核心產品覆蓋超精密金剛石單點車床、輥筒模具加工機床、自由曲面測量機、立磨UPG650等,技術指標達納米級精度,可實現關鍵裝備進口替代,廣泛應用于光學、半導體、航空航天等領域。
華粹智能裝備有限公司專注納米級超精密車削 / 磨削裝備,自研液體靜壓導軌 + 空氣靜壓主軸 + 高精度運動控制系統,主打 UPC 系列超精密單點金剛石車床與五軸超精密加工中心。可對銅、鋁、單晶鍺、硒化鋅、樹脂等材料實現平面、球面、非球面、離軸曲面及自由曲面的光學級加工,面形精度達納米級、粗糙度可達亞納米級,可加工微透鏡陣列、菲涅爾透鏡等微結構元件,廣泛服務于光學、半導體、航天與紅外成像領域。
四川神工科技(科研院所成果轉化平臺)深耕超精密光學加工裝備三十載,自研超精密單點金剛石車床、磁流變拋光機床、高精度數控磨床三大核心系列,搭配自主超精密運動與控制系統。其磁流變拋光設備專用于高陡度曲面光學元件,面形 RMS≤2 nm、Ra≤0.3 nm;高精度磨床可穩定實現圓度優于 0.5 μm,對標國際禁運級裝備水平。產品覆蓋大口徑光學元件、半導體晶圓、紅外光學零部件,是國產超精密裝備核心供應商,連續多年亮相中國光博會。
微型化與集成化:晶圓級微納加工,驅動元件形態變革
消費電子、AR/VR、光通信等領域對微型化、陣列化、集成化的迫切需求,讓晶圓級微納加工技術應運而生:通過納米壓印光刻、灰度光刻、反應離子刻蝕等半導體工藝,在整片玻璃或硅晶圓上批量復制微透鏡陣列、衍射光學元件、超構表面等微納結構,單片晶圓可產出數千乃至數萬個微型光學元件,大幅降低單件成本。此外,玻璃晶圓異形成型、晶圓級鍍膜與切割一體化工藝的成熟,使得光學元件能夠與傳感器、光源等實現高精度混合集成。然而,大面積納米壓印的模板壽命與均勻性、晶圓級模壓的溫度與應力控制、多材料復合晶圓的鍵合可靠性等仍是產業難點。
產業界已在相關領域取得多項技術突破,為微型化與集成化發展注入強勁動力:在AR光學材料領域,德國肖特AR全系列光學解決方案,其幾何反射式波導已實現全球首批量產,制程良率超90%;在納米壓印裝備領域,天仁微納推出310mm方片全自動納米壓印生產線,其納米壓印光刻系統可實現優于10nm精度、優于10:1高深寬比的納米結構復制量產,特別適用于AR光波導衍射光柵、微透鏡陣列等微納結構的規模化生產。
超精密加工全鏈聚合高地,關鍵資源一站獲取
即將于9月9-11日在深圳國際會展中心舉辦的CIOE精密光學展&攝像頭技術及應用展,作為光學產業鏈極具影響力的專業展會,匯聚了超精密光學與微納加工領域的全鏈條核心力量——覆蓋從超精密加工設備、微納壓印設備、光學模具,到光學微透鏡陣列、衍射光學元件、自由曲面光學元件、光學精密結構件等完整環節。
展會聚焦超精密光學三大躍遷方向。精密光學展加工館將展出超精密單點金剛石車床、磁流變拋光設備、離子束修形系統、納米壓印光刻機、飛秒激光加工站、高精度磨拋機等核心裝備;在光學元件領域,晶圓級微透鏡陣列、自由曲面棱鏡、超構表面、二元光學元件等創新產品將悉數亮相。
核心器件與配套工藝是超精密光學技術躍遷的“引擎”。展會重點涵蓋高剛度超精密空氣主軸、直線電機、納米級光柵尺、高速高精度伺服控制系統等核心部件。同時,AI+光學檢測方案通過深度學習算法自動識別表面缺陷、實時補償加工路徑,推動超精密加工向智能化演進。
部分參展企業包括中光學集團、新華光、北方光電、成都光明、海創光學、海泰新光、格奧光電、百盛光電、波長光電、國光光學、豪雅光電、肖特、小原光學、菲利華、福晶科技、長飛石英、戈碧迦、日本尼康、太洋科技、微米光學、晨征光電、凱鑫光電、高施光電、宇川光學、巨程智造光電、首量科技、光研科技、高特光電、瑞森光學、至臻精密光學、赫瑞特、星海光電、芝浦機械、施耐德電氣、大昌洋行、善能精密、大敏尚東、朗信光學、錫斌光電、恒泰光學等都將帶來新技術、新產品。
*僅為部分企業,排名不分先后
同期會議:微納光學與精密加工的突破與協同
展會同期舉辦“2026全球精密光學智能制造論壇” 融合光學產業鏈,探索光學新型技術及應用。其中“超精微/納米光學制造技術論壇” 聚焦自由曲面與超構表面,探討超透鏡設計制造、大口徑及動態可調諧技術、納米級加工設備與智能補償算法、跨尺度檢測方案,共破規模化制造瓶頸,描繪微/納米光學從設計到量產的藍圖;“納米壓印制造技術論壇”圍繞納米壓印的高分辨、低成本、三維成型優勢,聚焦模板技術、新型壓印材料與工藝、大面積缺陷控制等議題,破解高精度模板制造與使用壽命瓶頸,拓展納米壓印在存儲芯片、AR/VR光波導、先進封裝等領域的應用邊界;“2026精密光學注塑、模壓非球面加工技術會議”關注光學注塑與模壓非球面技術的高效量產優勢,邀請產業鏈企業發布最新技術與產品,探討行業熱點,促進產業對接與合作。>>查看會議一覽表
三展聯動,一證通覽,賦能全產業鏈融合
超精密光學與微納加工正處在技術突破與產業協同的關鍵節點,每一步跨越都離不開產業鏈的深度協同。CIOE精密光學展&攝像頭技術及應用展匯聚光學元件及材料、鏡頭及模組、鍍膜、機器視覺、AR&VR、光學測量等光學全產業鏈板塊,搭建起完善的光學產業生態圈,助力企業實現資源對接、優勢互補。
本屆展會還與IICIE 國際集成電路創新博覽會、elexcon 深圳電子展同期同地盛大舉辦,觀眾持一證即可高效便捷參觀三展,一站式了解從核心零部件到光學加工設備、半導體設備的最新技術與發展趨勢,深度賦能光電、半導體與電子全產業鏈融合互通,推動超精密光學技術與下游應用領域深度綁定,加速產業規模化發展。
CIOE精密光學展&攝像頭技術及應用展不僅是觀察超精密光學與微納加工技術演進的前沿窗口,更是連接產業上下游、推動技術轉化、實現全鏈協同的關鍵樞紐。9月9-11日,深圳國際會展中心,期待與您共赴高精度光學制造的新時代之約。

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關于CIOE中國光博會:
第二十七屆中國國際光電博覽會(CIOE中國光博會)將于2026年9月9-11日在深圳國際會展中心舉辦。作為覆蓋光電全產業鏈的綜合型展會,CIOE中國光博會匯聚了來自全球超30個國家和地區的超4000家的優質參展企業,覆蓋信息通信、精密光學、攝像頭技術及應用、激光及智能制造、紅外、紫外、智能傳感、新型顯示、AR & VR、光電子創新等,從產業到終端應用,是助力尋找研發和生產制造中所需要的材料、器件、設備及解決方案的一站式高效采購平臺。
關于CIOE精密光學展&攝像頭技術及應用展:
CIOE精密光學展&攝像頭技術及應用展是亞太地區極具影響力的光學行業專業展覽會,展會匯聚光學元件及材料、鏡頭及模組、鍍膜、機器視覺、AR&VR、光學測量等光學全產業鏈板塊的優質企業,搭建光學產業生態圈,助力消費電子、先進制造、安防、醫療等光學下游應用企業挖掘行業新應用及新需求,進行商貿溝通達成商業合作,獲悉前沿應用、洞察新興趨勢。
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