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預算900萬元 清華大學采購原子層沉積ALD系統
2026年07月23日 08:49:25
來源：化工儀器網 點擊量：1544
清華大學委托華誠博遠工程咨詢有限公司組織公開招標，采購原子層沉積ALD系統，預算900萬元。
頂尖高校布局前沿薄膜制備設備，既能完善微電子、新材料相關學科科研硬件平臺，支撐師生開展高k介質、阻變薄膜等前沿材料實驗研究，助力高校攻克半導體薄膜制備關鍵技術，打通實驗室基礎研究與集成電路產業技術研發通道，提升高校材料、微電子學科科研實力與行業創新影響力。
近日，清華大學委托華誠博遠工程咨詢有限公司組織公開招標，采購原子層沉積ALD系統，預算900萬元。投標人可在北京市豐臺區吳家村路57號華誠博遠設計產業園一層或線上獲取招標文件，并于2026年08月13日 13點30分(北京時間)前遞交投標文件。
一、項目基本情況
項目編號：清采招第20260280號
項目名稱：清華大學原子層沉積ALD系統采購項目
預算金額：900.000000 萬元(人民幣)
最高限價(如有)：895.000000 萬元(人民幣)
采購需求：
| 包號 | 標的名稱 | 采購包 預算金額 （萬元） | 數量 | 是否允許進口產品投標 |
| 01 | 原子層沉積ALD系統 | 900 | 3臺套 | 否 |
簡要技術需求：
01包：原子層沉積ALD系統，沉積技術：原子層熱沉積高k材料、阻變材料及原位電極材料制備技術，原子層等離子體薄膜材料制備方法；典型的介質：HfZrO，HfLaO，Al2O3，TiO2，SiO2，Ta2O5，HfO2，ZnO，ZrO2，AlN，TiN，Pt或Ir等金屬。
■注：投標人必須針對本項目所有內容進行投標，不允許拆分投標。
合同履行期限：合同簽訂后6個月內交付。合同貨物整體質量保證期為驗收合格之日起12個月。
本項目( 不接受 )聯合體投標。
二、申請人的資格要求：
1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規定；
2.落實政府采購政策需滿足的資格要求：
2.1 中小企業政策
■本項目不專門面向中小企業預留采購份額。
2.2通過“信用中國”網站和中國政府采購網查詢信用記錄，被列入失信被執行人、重大稅收違法案件當事人名單、政府采購嚴重違法失信行為記錄名單的供應商，沒有資格參加本項目的采購活動。
2.3單位負責人為同一人或者存在直接控股、管理關系的不同供應商，不得同時參加同一包的采購活動。
2.4為本項目提供整體設計、規范編制或者項目管理、監理、檢測等服務的供應商，不得再參加本項目的其他采購活動。
3.本項目的特定資格要求：無。
三、獲取招標文件
時間：2026年07月22日 至 2026年07月29日，每天上午9:00至12:00，下午13:00至17:00。(北京時間，法定節假日除外)
地點：北京市豐臺區吳家村路57號華誠博遠設計產業園一層或線上
方式：現場領取：須攜帶法人代表授權委托書原件及被授權人身份證復印件(以上資料均須加蓋投標單位公章)。線上領取：線上領取招標文件時須將法人代表授權委托書原件、被授權人身份證復印件(以上資料均須加蓋投標單位公章)彩色掃描件以及《招標文件領取登記表》以PDF形式發至郵箱 hcby03@126.com，郵件主題為“項目名稱+潛在供應商名稱”，郵件正文寫明潛在供應商聯系人和電話。《招標文件領取登記表》詳見公告附件。
售價：￥100.0 元，本公告包含的招標文件售價總和
四、提交投標文件截止時間、開標時間和地點
提交投標文件截止時間：2026年08月13日 13點30分(北京時間)
開標時間：2026年08月13日 13點30分(北京時間)
地點：北京市海淀區華業大廈一層二區采購管理中心第三會議室(清華大學東南門外路東，建設銀行西側進大廳往右前方20米左手邊，無需入校。不提供臨時來訪停車，請提前規劃時間)。
五、公告期限
自本公告發布之日起5個工作日。
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