一、核心性能優勢

寬工況適配能力

作為化學流體專用標準氣動隔膜閥，可兼容大范圍壓力、溫度、腐蝕流體環境，替代多款分段式老型號，實現多工況統一選型，大幅減少設備備件種類。

穩定流體通斷控制

采用氣動隔膜驅動結構，啟閉響應快速，無介質滲漏風險；隔膜柔性密封設計，開關無摩擦碎屑產生，保障高純藥液輸送潔凈度。

低流阻大通流設計

閥體內部流道平滑，藥液、高純化學品流通阻力小，不易結晶、殘留，降低管路清洗頻次，適配 24 小時連續自動化產線運行。

多聯集成拓展性能

支持單閥獨立安裝、多閥集裝閥組兩種形式，可根據設備藥液回路數量自由組合，適配半導體多藥劑同步供給設備。

耐負壓、耐壓均衡

標準型號可滿足半導體濕法循環供液壓力需求，高低溫環境下密封性能不衰減，冷熱交替工況無泄漏、無變形。

二、本體用材說明

流體接觸主體（過液端）

閥頭外殼、流道腔體采用高純 PFA/PTFE 氟素樹脂材質，化學惰性強，、強酸、強堿、各類蝕刻有機溶劑、藥用高純藥液，長期輸送腐蝕介質不溶脹、不析出金屬離子，符合半導體 SEMI 潔凈標準、醫藥流體輸送要求。

隔膜密封件

高純 PTFE 復合彈性隔膜，耐化學品、耐疲勞，數萬次啟閉不開裂；無增塑劑析出，不會污染晶圓、醫藥原液。

氣動驅動部

驅動外殼為耐腐蝕工程塑料，內部驅動膜片耐壓縮空氣水汽、微量油霧；緊固件選用 SUS316 不銹鋼，抗車間鹽霧、酸堿揮發氣體銹蝕。

整體無黃銅、鐵質過流部件，從源頭杜絕金屬雜質污染高純流體。

三、產品應用用途

半導體制造前道工藝

晶圓蝕刻、清洗、顯影設備，高純酸堿、光刻配套化學品供給管路通斷控制，低發塵、低析出滿足無塵車間 Class5~6 潔凈等級要求。

化工化學品供應設施

精細化工、電子化學品配液輸送設備，腐蝕試劑、高純溶劑輸送管路開關，適配自動化配液系統。

醫藥制藥流體管路

藥用高純液體輸送、生物試劑供給，無析出材質符合制藥潔凈流體管控標準。

鋰電新能源濕法設備

電解液、清洗溶劑輸送回路，多聯閥組集中分配多種化工藥劑。

實驗室高純流體裝置

精密實驗設備腐蝕試劑、標準液自動切換控制。

四、包裝規格

單品獨立包裝

單聯閥門采用防靜電真空袋密封，搭配原廠紙質獨立小盒，內置產品合格證、簡易規格說明書，避免運輸粉塵污染閥體內腔。

多聯集成閥組包裝

多連體閥組使用防震泡沫內襯 + 防靜電密封袋，外層加厚紙箱封裝，防止運輸磕碰劃傷氟塑料流道。

批量整箱包裝

大批量訂貨采用原廠標準外箱，每箱附批次質檢單、型號清單，防潮、防塵，適合工廠長期倉儲。

潔凈款出廠前經過無塵清洗，真空密封包裝，拆封可直接投入無塵車間使用。

五、使用說明

1. 安裝要求

① 安裝前清理管路雜質、焊渣、結晶顆粒，防止硬質顆粒劃傷 PTFE 隔膜造成泄漏；

② 閥體保持水平或垂直安裝，避免閥腔積液殘留；氣動控制氣口匹配標準氣動接頭，氣源接入潔凈干燥壓縮空氣；

③ 藥液進出口按閥體標識流向安裝，禁止反向安裝，否則會降低密封使用壽命。

2. 氣源與介質使用規范

① 驅動氣源：干燥潔凈壓縮空氣，氣源壓力控制在 0.3~0.5MPa，禁止超壓驅動；氣源前端加裝油水過濾器，避免油霧侵蝕驅動隔膜；

② 輸送介質：僅適配液體化學藥劑、高純純水，禁止含大量固體顆粒懸浮液；介質溫度控制在產品標稱區間內，避免長期超高溫運行。

3. 日常操作與維護

① 啟閉操作依靠氣源通斷控制，禁止手動外力掰動閥體強行開關；

② 長期停機前，使用純水沖洗閥體內部殘留藥液，防止藥劑結晶卡死隔膜；

③ 定期巡檢閥體有無外漏、閥組動作卡頓，出現泄漏優先更換 PTFE 隔膜密封件；

④ 潔凈車間使用時，拆裝全程佩戴無塵手套，禁止徒手觸碰過液流道內壁。

4. 儲存注意事項

存放環境陰涼干燥，避免陽光紫外線直射；原裝密封袋未開封前不要拆解，長期庫存每半年檢查一次密封包裝完整性，防止粉塵進入腔體。