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產品簡介
鋁膜測厚儀

≡ 簡單介紹 ≡
鋁膜測試儀利用渦流原理制造: 即被測蒸鋁層靠近高頻激磁磁場時, 感應產生渦電流, 因而產生渦流磁場, 此渦流磁場反作用于原來激磁磁場, 使傳感器阻抗發生變化, 然后通過檢測電路并進行放大, 輸出與厚度相對應模擬電壓。
為了減少漂移即減少重復性誤差和提高測量準確度,本儀器應用智能功能單片機系統,即對測厚過程中非線性和零漂進行校正,因而提高了測量準確度。
≡ 技術參數 ≡
可測量范圍與量程:被測薄膜尺寸 100mm±10%×200mm±10%
測量量程 厚度90~800Å(0.009~0.08µm)
方阻95~0.47Ω/□
精確度:測量準確度 厚度 ±(20Å+2%讀數)
方阻 ±0.15Ω/□(在300~500Å范圍)
讀數重現性 10Å (同一測量點)
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