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產品簡介
大樣品離子濺射鍍膜儀（樣本制備）詳細信息
EMS 650/EMS 650T大樣品離子濺射鍍膜儀（樣本制備）
又稱三靶大樣品室離子濺射鍍膜儀（樣本制備），EMS 650大樣品離子濺射鍍膜儀（樣本制備）配套裝有直徑60mm、厚度0.1mm的金靶（用戶可以選擇其它材質的靶材）；面板式控制，*的人性化設計；濺射參數可預先設置，包括控制排氣的電磁閥（自動控制），可以獲得精確的可重復的鍍膜厚度；濺射頭互鎖，EMS 650和EMS 250鍍碳配件通用；EMS 650可控制獨立的真空泵。下圖示EMS 650。EMS 650T是在EMS 650基礎上加裝了一個功率為60L/秒的渦輪增壓泵，能夠獲得更高更潔凈的真空。
性能特征：
- 全自動控制
- 低能冷卻系統（（功率是6W）
- 低電壓濺射（100V，DC;每分鐘溫度升高不到2°C）
- 鍍膜厚度精確（2nm金粒）
- 精確的可重復性
- 鍍膜厚度20nm或200A（掃描電鏡）
- 微電子控制
- 三個靶臺同時濺射
- 聚碳酸脂安全外殼
儀器參數：
儀器尺寸 | 450mm(W) x 350mm(D) x 175mm(H) |
工作腔室 | 硼硅酸鹽玻璃: 225mm(Dia.) x 125mm(H) |
重量 | 24Kg |
靶臺 | 3 x 60mm Dia.x0.1mm 厚 |
旋轉樣品臺 | 155mm Dia. 距離靶臺40 to 50mm可調 |
真空范圍 | ATM 1x10-2 mbar |
鍍膜電流范圍 | 0-100mA |
鍍膜速率 | 0-20nm/minute |
濺射鍍膜時間 | 0-4 minutes |
電源 | 230 volts 50Hz (zui大8 amp 包括泵) |
維護 | 氬氣 通常 4 psi |
真空泵（推薦） | 整套真空泵軟管和油氣過濾器135L/Min |
訂購信息:
貨號 | 產品名稱 | 規格 |
91020 | EMS 650 Sputter Coater complete with Targets | 臺 |
91020T | EMS 650T Sputter Coater | 臺 |
91025 | Rotary Vacuum Pump | 個 |
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