VS系列氦質譜檢漏儀是一款精良的寬量程氦質譜檢漏儀，它含有渦輪分子高真空泵、內置機械泵、外置機械泵、光譜儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作員界面，以及可選功能組件。VS　MR15x　和　VS　MD30x型號檢漏儀可選用雙輪車。所有檢漏儀型號都適用于　100/115　VAC　和　230　VAC 
　　 

VS系列氦質譜檢漏儀　應用領域： 
　　 
　　VS系列全自動氦質譜檢漏儀應用于工業真空爐、鍍膜系統、電子束焊接設備；電廠冷凝器、熱交換器、蒸汽管線、地下沖壓電纜；高能物理同步加速器、束線、同步輻射光源；電子掃描顯微鏡、半導體加工、薄膜制備、質譜分析、真空電子管、激光加工等領域。 
　　 
　　特點： 
　　 
　　※多種語言和計量單位選擇，可選中文界面 
　　※135o電離偏轉（自然聚焦點）的全新質譜技術，金屬密封結構 
　　※新的電子線路及信號處理設計 
　　※*小可檢漏率高、靈敏度覆蓋范圍可達12個量程 
　　※快速清氦和快速響應 
　　※測試口耐壓高，可實現大漏檢漏