氦質譜檢漏儀廣泛應用于科研院所、航空航天、動力鋰電池，閥門、精密儀表、機械加工、電力、半導體、光伏、真空鍍膜、真空熱處理等行業高精度的檢漏。

功能描述與優點

支持正壓檢漏，負壓檢漏

自動跟蹤本底，提供快速可靠的測量結果

優化設計的質譜系統和智能算法確保在所有量程快速響應

高可靠性的真空系統和質譜系統確保快速清氦

支持氮氣破空，不受環境氦氣干擾，快速降低本底

機器的性能支持7*24小時長時間在線測試

機器的性能支持幾秒一次的高頻率測試

配有檢漏口精細過濾器，過濾細微雜質，確保機器不受雜質影響和損傷

雙銥絲離子源，有效的系統設計，防大氣沖擊

氦質譜檢漏儀

主要技術參數

小可檢漏率（負壓模式） 5×10-13Pa·m3/s

小可檢漏率（正壓模式） 1×10-8Pa·m3/s

檢漏口大壓強  1500Pa

響應時間 ＜1s

啟動時間 ≤3min

外形尺寸（W×D×H） 845×465×988