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產品簡介
| 價格區間 | 面議 | 儀器種類 | 氦質譜檢漏儀(進口) |
| 應用領域 | 醫療衛生,生物產業 |
UL1000 Fab 干式氦氣檢漏儀提供的*的泄漏率低達 < 5x10-12 atm cc/s。軟件 I-CAL(智能泄漏率計算法)讓您忘記在低泄漏率范圍檢漏時較長反應時間的煩惱,因為 UL1000 Fab 能夠對所有泄漏率范圍做出快速響應。
UL1000 Fab 干式氦氣檢漏儀
功能
• 15 級的寬測量范圍 • 較短的抽氣和響應時間 • I-CAL(智能泄漏率計算法)確保了在所有測量范圍中提供較快的泄漏響應時間 • 抑零功能和自動積分時間校正,可提供快速、可靠的泄漏檢測結果 • 含堅固耐用低真空泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設計,提供較高氦氣抽氣能力和高壓縮比 • 自保護功能可防止 UL1000 Fab 氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染 • 自動吹掃循環可確保清理并隨時可進行泄漏檢測 • 可通過電子郵件進行軟件更新 • 內置軟件菜單“自動測漏”功能可執行密封組件的自動測試(可選 TC1000 測試盒) |
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| 應 用 • 對半導體加工工具執行維護作業,無論是否具有自有泵支持 • 需要較高抽氣能力、高靈敏度和清潔測試條件的應用 • 在現有工具中安裝前對部件執行檢漏 • 工藝氣體系統的檢查和安裝 • 內置軟件菜單“自動測漏”功能可使用 TC1000 測試盒執行密封組件的自動測試 | |
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