JSM-7200F 熱場發射掃描電子顯微鏡應用了日本電子旗艦機-JSM-7800F Prime采用的浸沒式肖特基電子槍技術，標配了TTLS系統（Through-The-Lens System），因此無論是在高/低加速電壓下，空間分辨率都比傳統機型有了很大的提升。

• 產品特點

• • JSM-7200F的電子光學系統應用了日本電子旗艦機-JSM-7800F Prime采用的浸沒式肖特基電子槍技術，標配TTLS系統（Through-The-Lens System），無論是在高/低加速電壓下，空間分辨率都比傳統機型有了很大的提升。此外，保證300nA的大束流，能兼顧高分辨率觀察和高通量分析，具有充實的自動功能和易用性，是新一代的多功能場發射掃描電鏡。

  • ＜特點＞

  • JSM-7200F的主要特點有：應用了浸沒式肖特基電子槍技術的電子光學系統；利用GB（Gentle Beam 模式）和各種檢測器在低加速電壓下能進行高分辨觀察和選擇信號的TTLS系統（Through-The-Lens System）；電磁場疊加的混合式物鏡。

  • 浸沒式肖特基電子槍

  • 浸沒式肖特基場發射電子槍為日本電子的專技術，通過對電子槍和低像差聚光鏡進行優化，能有效利用從電子槍中發射的電子，即使電子束流很大也能獲得很細的束斑。因而可以實現高通量分析（EDS、WDS面分析、EBSD分析等）。

  • TTLS（through-the-lens系統）

  • TTLS（through-the-lens系統）是利用GB(Gentle Beam 模式）在低加速電壓下能進行高分辨率觀察和信號選擇的系統。 利用GB（Gentle Beam 模式）通過給樣品加以偏壓，對入射電子有減速、對樣品中發射出的電子有加速作用，即使在低加速電壓（入射電壓）下，也能獲得信噪比良好的高分辨率圖像。 
    此外，利用安裝在TTLS的能量過濾器過濾電壓，可以調節二次電子的檢測量。這樣在極低加速電壓的條件下，用高位檢測器（UED）就可以只獲取來自樣品淺表面的大角度背散射電子。因過濾電壓用UED沒有檢測出的低能量電子，可以用高位二次電子檢測器（USD，選配件）檢測出來，因此JSM-7200F能同時獲取二次電子像和背散射電子像。

  • 混合式物鏡（電磁場疊加）

  • JSM-7200F的物鏡采用了本公司新開發的混合式透鏡。 
    這種混合式透鏡是組合了磁透鏡和靜電透鏡的電磁場疊加型物鏡，比傳統的out-lens像差小，能獲得更高的空間分辨率。 JSM-7200F仍然保持了out-lens的易用性，所以可以觀察和分析磁性材料樣品。

  • 應用實例

  • ◇ 利用混合式物鏡、GB（Gentle Beam 模式）進行觀察的實例 

  • 利用低像差的混合式物鏡和GB 模式，即使對不導電樣品也能在極低的加速電壓下進行高分辨率成像。

  •  

  • 樣品: 介孔二氧化硅 （ 中國上海交通大學車順愛教授）

  • ◇ 使用高位檢測器（ＵＥＤ）、能量過濾器進行觀察的實例

  • 下圖是利用UED在低加速電壓條件下獲得的背散射電子像。由于是大角度散射電子成像，成份信息非常豐富，但加速電壓為0.8kV比在5kV時的測試，能獲得更細微的淺表面信息。象這樣在極低加速電壓下要獲取樣品淺表面的背散射電子成份像，不僅需要高位檢測器，還需要用來去除二次電子的能量過濾器。

  • 樣品：鍍金表面,   能量過濾器： -250 V  

  • 產品規格
  •  

    JSM-7200F	JSM-7200FLV
    分辨率	1.0 nm(20kV)，1.6 nm(1kV)	1.0 nm(20kV)，1.6 nm(1kV)，1.8nm (30kV,  LV )
    放大倍率	×10～×1,000,000(120mm x 90mm photograph size); ×30～×3,000,000(1280 x 960pixels display);
    加速電壓	0.01kV～30kV
    束流	1pA～300nA
    自動光闌角佳控制透鏡ACL	內置
    大景深模式	內置
    檢測器	高位檢測器(UED)、低位檢測器(LED)
    樣品臺	5軸馬達驅動樣品臺
    樣品移動范圍	X：70mm  Y：50mm  Z：2mm～41mm 傾斜－5～＋70°  旋轉360°
    低真空范圍	-	10pa～300pa

    • 主要選配件

    • 可插拔式背散射電子探頭（RBED）

    • 高位二次電子探頭（USD）

    • 低真空二次電子探頭（LV-SED）

    • 能譜儀（EDS)

    • 波譜儀（WDS）

    • 電子背散射衍射系統（EBSD)

    • 陰極熒光系統（CLD）

    • 樣品臺導航系統（SNS）

    • 電子束曝光系統

JSM-7200F 熱場發射掃描電子顯微鏡危險化學品的批發、零售（在許可證有效期限及核定范圍內經營）。 第三類、第二類醫療器械、儀器儀表、化工產品（除危險化學品）、玻璃制品、五金交電、機械設備、一類醫療器械、消防器材、辦公設備、文具用品、體育用品、建材、日用品的批發、零售；教學儀器的安裝、維修；自營和代理貨物和技術的進出口，但國家限定經營或禁止進出口的貨物和技術除外；計算機軟件開發，商品信息咨詢；色譜儀器及色譜材料的分析測試服務；實驗室設備、儀器儀表安裝、維修、維護、拆除、搬運，貨物裝卸、搬運服務以及其他按法律、法規、*決定等規定未禁止或無需經營許可的項目和未列入地方產業發展負面清單的項目。（依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動）