化工儀器網手機版
移動端訪問更便捷
內容聲明：
您訪問的超高分辨率電子束光刻EBL（CABL-UH series）產品信息，由北京亞科晨旭科技有限公司自行發布提供，產品價格為面議，如您想了解更多關于超高分辨率電子束光刻EBL（CABL-UH series）型號、參數、用途等信息，歡迎咨詢。
該內容的真實性、準確性和合法性由發布會員負責，為保障安全，建議您在購買相關產品前務必確認供應商資質以及產品質量！
產品簡介
超高分辨率電子束光刻EBL（CABL-UH series）產品參數
| 產地類別 | 進口 | 價格區間 | 150萬-200萬 |
| 應用領域 | 電子/電池 |
超高分辨率電子束光刻EBL（CABL-UH series）詳細信息
超高分辨率電子束光刻EBL
Ultrahigh Resolution EB Lithography (CABL-UH series)
納米光刻技術在微納電子器件制作中起著關鍵作用,而電子束光刻在納米光刻技術制作中是好的方法之一。日本CRESTEC公司為21世紀先進納米科技提供 的電子束納米光刻（EBL）系統，或稱電子束直寫（EBD）、電子束爆光系統。
超高分辨率的電子束光刻CABL-UH系列的型號包括：
CABL-UH90 (90keV) 、CABL-UH110 (110keV) 、CABL-UH130 (130keV)
技術參數：
加速電壓：高130keV
單段加速能力達到130keV，盡量減少電子槍的長度
超短電子槍長度，無微放電
電子束直徑＜1.6nm
小線寬＜7nm
雙熱控制，實現超穩定直寫能力
留言咨詢
相關分類
Categories
該廠商其他產品
Other Products
采購中心
用戶評論
發布評論