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孚光精儀是中國規模型進口光學精密儀器供應商,是全球光電子儀器和基于光子技術精密儀器的規模性進口商和代理商，主營飛秒激光微加工系統,激光器,激光晶體,原子力顯微鏡等
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多功能物理氣相沉積平臺詳細信息
多功能物理氣相沉積平臺可搭載濺射,熱蒸發,電子束蒸發,等離子體和離子束處理功能模塊,是多功能PVD系統。允許更大的腔室投擲距離，并能夠適應更多工藝增強。
多功能物理氣相沉積平臺具有500mm x 500mm的底板,最多可容納8個源和各種PVD工藝,廣泛適合科學研究、生產需求。
多功能物理氣相沉積平臺沉積源選項
濺射：射頻、直流、脈沖直流、HIPIMS和無功。可提供圓形、線性和圓柱形陰極。
熱蒸發：有了Amod PVD平臺，您可以使用各種長絲和坩堝加熱器。自動調諧確保精確的速率控制。
電子束蒸發：有多種電源和電源選項可供選擇。帶有配方存儲的可編程掃描控制器通過Aeres軟件平臺進行控制。扭矩感應坩堝分度儀檢測凹槽堵塞。Amod室中有多個電子束源的空間。
等離子體和離子束處理：我們在Amod物理氣相沉積平臺中使用一系列離子源進行清潔和膜增強，包括輝光放電等離子體清潔。
多功能物理氣相沉積平臺特點
易于使用但高度優良的集成軟件平臺
PC/PLC控制的配方，用于單個、批次或自動化過程
優良的數據記錄和流程跟蹤確保了流程的一致性和可重復性
高分辨率控制提供了令人印象深刻的低速率穩定性和一致的摻雜率
中yang控制站管理每個模塊并調度每個腔室中的過程
多個腔室的獨立控制（如適用）
可以輕松創建和修改復雜的配方
自動PID控制回路調整顯著縮短了過程開發時間
相關資質
編號：91310115MA1K3L3E4N
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移動站：多功能物理氣相沉積平臺
內容聲明：
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